本发明专利技术提供一种能够抑制微粒产生的输送装置。输送装置包括腔室；基板支承体，支承基板，并能够沿着腔室内的路径移动；第1磁齿条，具有呈直线排列于基板支承体的多个齿条磁铁；第1磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，配置于第1磁齿条的侧方，与第1磁齿条磁耦合；以及支承构件，以使基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，通过使第1磁小齿轮旋转而使基板支承体移动。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及沿着腔室内的路径输送基板的输送装置。
技术介绍
在专利文献I中，公开了使用齿条一小齿轮机构，输送基板托盘的薄膜形成装置。专利文献I :日本特开2006 - 118008号公报
技术实现思路
近年来，随着基板的大型化，在支承基板的基板支承体的重量增加的过程中，变得无法忽视由齿条一小齿轮机构产生的微粒，要求减少微粒。 因此，本专利技术是鉴于以往的问题而提出的，其目的在于，提供一种抑制微粒产生的输送装置。本专利技术的输送装置的特征在于，该输送装置包括腔室；基板支承体，支承基板，并能够沿着上述腔室内的路径移动；第I磁齿条，具有呈直线排列于上述基板支承体的多个齿条磁铁;第I磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，配置于上述第I磁齿条的侧方，与上述第I磁齿条磁耦合；以及支承构件，以使上述基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，通过使上述第I磁小齿轮旋转而使上述基板支承体移动。本专利技术的另一输送装置的特征在于，该输送装置包括腔室；基板支承体，支承基板，并能够沿着上述腔室内的路径移动；第I磁齿条，设于上述基板支承体；第I磁小齿轮；以及支承构件，以使上述基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，通过使上述第I磁小齿轮旋转而使上述基板支承体移动。根据本专利技术，能提供抑制微粒产生的输送装置。附图说明图I是本专利技术的第I实施方式的基板处理装置的概略图。图2是图I的基板输送装置的概略剖视图。图3A、3B是说明图I的上部磁体的放大图。图4A、4B是图I的磁齿条和磁小齿轮的放大图。图5A — 5D是变形例的磁小齿轮的俯视图。图6是变形例的磁齿条的俯视图。图7是变形例的磁齿条的侧视图。图8是变形例的磁齿条和磁小齿轮的概略图。图9A、9B是变形例的磁齿条和磁小齿轮的概略图。图10AU0B是变形例的磁齿条和磁小齿轮的概略图。图11是变形例的磁齿条和磁小齿轮的概略图。图12是变形例的磁齿条和磁小齿轮的概略图。图13是变形例的磁齿条和磁小齿轮的概略图。附图标记说明1A、1B、腔室；2、基板；3、支承构件(引导辊)；4、基板支承体；5、下部磁小齿轮；5a、第I磁小齿轮；5b、第2磁小齿轮；5c、第3磁小齿轮；6、下部磁齿条(第I磁齿条)；7、电动机；8a、8b、磁铁；9a、9b、磁铁；10、磁驱动部；12、隔壁；13、旋转传递部件；14、轨道；15、上部磁小齿轮；15a、第4磁小齿轮；15b、第5磁小齿轮；15c、第6磁小齿轮；16、上部磁齿条(第2磁齿条)；25、磁性体小齿轮；50、第I轴；51、驱动轴；55a、第7磁小齿轮；55b、第8磁小齿轮；150、第2轴。具体实施例方式以下，参照附图说明用于实施本专利技术的方式。图I是本专利技术的第I实施方式的基板处理装置的概略侧视图。图2是本专利技术的基板处理装置的侧剖视图。 如图I所示，基板处理装置I包括腔室IA和通过闸阀11与该腔室IA连接的腔室IB0作为腔室1A，能列举例如加载互锁真空腔室、溅射成膜用腔室、CVD成膜用腔室、蚀刻腔室等。作为腔室1B，能列举例如卸载互锁真空腔室、溅射成膜用腔室、CVD成膜用腔室、蚀刻腔室等。各腔室是与未图示的排气部件连接，能够排气成减压气氛的壳体。另外，在本例中示出了两个腔室，但是不限定于此，基板处理装置I也可以包含3个以上的腔室。图2是基板输送装置的概略剖视图。如图2所示，纵向配置的基板支承体4在与行进方向垂直的截面中，具有倾斜的两个矩形的侧面(基板支承面；第I面)，利用其侧面分别能够支承矩形的基板2。即，基板支承体4具有倾斜侧壁4a、4b和以连结该倾斜侧壁4a、4b各自的上端部的方式平坦地配置的上壁4c。倾斜侧壁4a、4b以它们之间的间隔随着朝向下方去而变大的方式配置。基板2能够是纵向为1700mm以上且横向为1300mm以上的大型的矩形基板，但是尺寸、形状不限定于此，也可以是例如圆盘状的基板。基板支承体4能够是纵向为2000mm以上且横向为1700mm以上。在基板支承体4的倾斜侧壁4a、4b的内侧(基板支承面的相反侧；第2面侧)，在整个水平方向的范围内设有卡合构件(以下称为轨道)14。卡合构件14既可以具有曲面状的槽，也可以只具有能够滑动的平面。另一方面，如图I所不，在腔室1A、IB内，沿着基板支承体4的移动路径,能够旋转的多个轴承(以下称为引导辊)3分离地设置。引导辊3被嵌入该基板支承体4的轨道14的槽中，作为以使基板支承体4能够在水平方向上移动的方式支承该基板支承体4的支承构件发挥作用。利用多个引导辊3，能分散地支承基板支承体4的自重，因此，能降低因该引导辊3与轨道14的接触而产生的微粒。如图2所示，在基板支承体4的倾斜侧壁4a、4b的下端部，分别在整个水平方向上设有具有多个齿条磁铁的第I磁齿条6。在各第I磁齿条6的下方，设有与第I磁齿条6以非接触状态磁耦合的、具有多个小齿轮磁铁的能够旋转的磁小齿轮5a、5b。如图I所示，沿着基板支承体4所移动的路径，多个磁小齿轮5隔开规定的间隔地配置。在这里，各磁小齿轮5绕与相对于基板支承体4的行进方向垂直的方向平行的轴旋转。如图2所示，形成于基板支承体4的一侧的倾斜侧壁4a的下端部的、与第I磁齿条6磁稱合的磁小齿轮5a、5b的旋转轴，与设于腔室IA的外部的电动机7的旋转轴51连接，能够通过电动机7的旋转而旋转。并且，形成在基板支承体4的另一侧的倾斜侧壁4b的下端部的、与第I磁齿条6磁耦合的磁小齿轮5a、5b的旋转轴也与电动机7的旋转轴51连接，能够通过电动机7的旋转而旋转。另外，在本例中，磁小齿轮5具有第I磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b,但是不限定于此，也可以只具有一方的磁小齿轮。通过使磁小齿轮5旋转，基板支承体4能够向箭头标记的方向呈直线地移动。利用该磁小齿轮5和第I磁齿条6,以非接触状态构成将磁小齿轮5的旋转转换为第I磁齿条6的直线移动的磁驱动部。另外，如图I所示，为了使分离地设置的多个磁小齿轮旋转，也可以单独地设置电动机，并设置使各电动机同步的控制部件。此外，也能够利用齿轮连结多个磁小齿轮5彼此，并利用单一的电动机使各磁小齿轮的旋转同步。如以上所述，根据本实施方式，利用设于基板支承体的磁齿条和在整个基板支承体的移动范围内排列的多个磁小齿轮5构成非接触的磁驱动部。根据本实施方式，与利用在整个基板支承体的移动范围内沿着基板支承体的行进方向延伸的磁螺钉而驱动基板支承体的结构比较，在装置的小型化、制造成本方面是有利的。如图I和图2所示，在基板支承体4的上壁4c上设有上部磁体9。另一方面，在腔 室IA的顶板配置有与该磁体9磁耦合的磁体8。图3A、3B是说明图I的上部磁体8、9的放大图。图3A是剖视图，图3B是侧视图。如图3A所示，在腔室IA侧，互不相同的磁极朝向下方的棒状磁体8a、8b配置成两列。在基板支承体4侧，互不相同的磁极朝向上方的棒状磁体9a、9b配置成两列。如图3B所示，固定于腔室IA侧的棒状磁体8a (在本例中为N极)和固定于基板支承体4侧的棒状磁体9a (S极)以非接触状态沿铅垂方向磁耦合。同样，固定于腔室IA侧的棒状磁体8b (在本例中为S极)和固定于基板支承体4侧的棒状磁体9b (N极)以非接触状态沿铅垂方向磁耦合。由此，基板支承体4能够维持稳定的铅垂的姿势，并且利用磁力向上方提起基板支承体4的力发挥作用，因此本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种输送装置，其特征在于，该输送装置包括：腔室；基板支承体，支承基板，并能够沿着上述腔室内的路径移动；第1磁齿条，具有呈直线排列于上述基板支承体的多个齿条磁铁；第1磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，配置于上述第1磁齿条的侧方，与上述第1磁齿条磁耦合；以及支承构件，以使上述基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，通过使上述第1磁小齿轮旋转而使上述基板支承体移动。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：北川淳一，若林秀纪，
申请(专利权)人：佳能安内华股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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