输送装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够抑制微粒产生的输送装置。输送装置包括腔室；基板支承体，支承基板，并能够沿着腔室内的路径移动；第1磁齿条，具有呈直线排列于基板支承体的多个齿条磁铁；第1磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，配置于第1磁齿条的侧方，与第1磁齿条磁耦合；以及支承构件，以使基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，通过使第1磁小齿轮旋转而使基板支承体移动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及沿着腔室内的路径输送基板的输送装置。
技术介绍
在专利文献I中，公开了使用齿条一小齿轮机构，输送基板托盘的薄膜形成装置。专利文献I :日本特开2006 - 118008号公报
技术实现思路
近年来，随着基板的大型化，在支承基板的基板支承体的重量增加的过程中，变得无法忽视由齿条一小齿轮机构产生的微粒，要求减少微粒。 因此，本专利技术是鉴于以往的问题而提出的，其目的在于，提供一种抑制微粒产生的输送装置。本专利技术的输送装置的特征在于，该输送装置包括腔室；基板支承体，支承基板，并能够沿着上述腔室内的路径移动；第I磁齿条，具有呈直线排列于上述基板支承体的多个齿条磁铁;第I磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，配置于上述第I磁齿条的侧方，与上述第I磁齿条磁耦合；以及支承构件，以使上述基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，通过使上述第I磁小齿轮旋转而使上述基板支承体移动。本专利技术的另一输送装置的特征在于，该输送装置包括腔室；基板支承体，支承基板，并能够沿着上述腔室内的路径移动；第I磁齿条，设于上述基板支承体；第I磁小齿轮；以及支承构件，以使上述基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种输送装置，其特征在于，该输送装置包括：腔室；基板支承体，支承基板，并能够沿着上述腔室内的路径移动；第1磁齿条，具有呈直线排列于上述基板支承体的多个齿条磁铁；第1磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，配置于上述第1磁齿条的侧方，与上述第1磁齿条磁耦合；以及支承构件，以使上述基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，通过使上述第1磁小齿轮旋转而使上述基板支承体移动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：北川淳一，若林秀纪，
申请(专利权)人：佳能安内华股份有限公司，
类型：发明
国别省市：