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本发明提供一种能够抑制微粒产生的输送装置。输送装置包括腔室；基板支承体，支承基板，并能够沿着腔室内的路径移动；第1磁齿条，具有呈直线排列于基板支承体的多个齿条磁铁；第1磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，配置于第1磁齿条的侧方，与第1磁齿条磁耦合...
该专利属于佳能安内华股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佳能安内华股份有限公司授权不得商用。

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