【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微粒清除装置，其特征在于：包括控制面板、吸气马达、清洁装置、吸气管道、吸嘴和吸嘴位置调节装置，所述吸气马达通过所述控制面板控制其吸力的大小与开关，所述吸气马达与所述清洁装置连接，所述清洁装置通过所述吸气管道与所述吸嘴连接，所述吸嘴安装在所述吸嘴位置调节装置上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张学良，高海林，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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