温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种微粒清除装置，包括控制面板、吸气马达、清洁装置、吸气管道、吸嘴和吸嘴位置调节装置，所述吸气马达通过所述控制面板控制其吸力的大小，所述吸气马达与所述清洁装置连接，所述清洁装置通过所述吸气管道与所述吸嘴连接，所述吸嘴安装在所...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。