一种用于制造微型结构的系统和方法技术方案

本发明专利技术涉及用于制造孔、喷嘴和狭缝的方法及装置。在一些实施例中，通过控制穿过模制板的受控制的流动流的位置和方向来在模制基板上创建图案。所述模制板包括能够用来在模制板上创建所需图案的预定图案。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】一种用于制造微型结构的系统和方法相关申请的交叉引用本专利申请根据35U.S.C.119(e)要求享有下列共同未决申请的优先权：美国临时专利申请No.61/303,605，2010年2月11日提交，名称为“用于制造微型针的系统和方法”；美国临时专利申请No.61/303,613，2010年2月11日提交，名称为“用于制造喷嘴、隔膜、微型筛和微型悬臂梁的系统和方法”；美国临时专利申请No.61/325,701，2010年4月19日提交，名称为“用于冷却装置的小型系统和方法”以及美国临时专利申请No.61/409,799，2010年11月3日提交，名称为“自对准、多层微型纳米结构的形成”，在此为了所有目的将其全文引用作为参考。
本专利技术大体上涉及微型结构的制造装置、方法及其应用。更具体地，本专利技术涉及用于受控制的流辅助微型结构制造的方法及装置。
技术介绍
典型的微型机械加工工艺能够生产微型结构。所需的高资本投资以及低加工产量限制了该工艺的商业应用性。一篇参考文献教导使用气体来迫使模制材料流入中空的腔室中，并通过保持气体的连续流动，在腔室中的模制材料内还形成通孔。该参考文献中形成的微型针本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.02.11 US 61/303,613;2010.02.11 US 61/303,605;1.一种用于制造微型结构的方法，包括：a)将一个或多个流动流穿过模制板的第一表面上的第一孔隙；b)将模制材料应用到所述模制板的第二表面，使模制材料被流动流推开，并由此改变模制材料的形状和厚度；以及c)使用所述一个或多个流动流来在所述模制材料上形成一个或多个孔隙，所述孔隙由流动流形成的临时插入件而制成,当流动流停止时，所述临时插入件消失并在固化的模制材料内形成孔隙，其中，所述微型结构包括微型隔膜、多层喷嘴、冷却装置、微电路、过滤装置或其组合。2.一种用于制造微型结构的方法，包括：a)使用穿过第一孔隙的第一流动流来形成包括所述第一孔隙的所述微型结构的第一层；以及b)使用穿过第二孔隙的第二流动流来形成包括所述第二孔隙的所述微型结构的第二层，其中所述第一孔隙和所述第二孔隙连接，以在所述第一层和所述第二层上形成通孔，第一层的单...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭永杰，
申请(专利权)人：谭永杰，
类型：
国别省市：