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一种基于石墨烯的表面传导电子发射源制造技术

技术编号:8162432 阅读:205 留言:0更新日期:2013-01-07 20:02
本发明专利技术涉及表面传导电子发射平板显示技术领域,特别是一种基于石墨烯的表面传导电子发射源,包括一基板和平行设置于所述基板表面上的两个电极,两个所述电极之间间隙及电极外旁侧设置有纳米材料层,两个所述电极或其中之一的上部设置有石墨烯薄膜元件,所述石墨烯薄膜元件的一旁侧或两旁侧向外延伸。本发明专利技术将表面传导型场发射结构与石墨烯的强电子发射性能及纳米材料阵列的二次电子发射性能有效结合,在本器件中石墨烯作为电子发射源,纳米材料阵列既作为表面电子传导层,又作为石墨烯的支撑体。该表面传导电子发射源工作电压低,电子发射效率高,发射稳定可靠,制备工艺简单。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及表面传导电子发射平板显示
,特别是一种基于石墨烯的表面传导电子发射源
技术介绍
表面传导电子发射显不器(Surface-conductionElectron-emitter Display,SED)是一种平面型的场发射阴极结构,作为一种性能优越的显示器,其制作工艺无需成本高昂、高精密度的半导体技术,可以在普通条件下制作;而且其所具有的表面传导发射体是一种平面场发射结构,发射性能稳定的多。表面传导电子发射现象的历史可以追溯到20世纪60年代初期,当时是由前苏联学者发现的,一般将其归类为薄膜场发射。SED的关键部分是下基板的制造,即表面传导场发射阴极,用来实现电子的表面传导发射,是SED研究的重点对象,决定SED的性能。佳能公司在材料和工艺上进行了改进,得到了稳定可靠的发射电流,进而研制出了可动态显示的显示器件,。佳能用氧化钯纳米粒子代替了氧化锡,用其擅长的喷墨技术将与有机溶剂混合的直径IOnm左右的氧化钯粒子均匀地分散在阴极和引出极之间IOym的缝隙上。经过高温烧结后,形成一层粒子薄膜。这种薄膜上会存在许多导电通道。在发射极和栅极之间施加高压脉冲,烧掉一些导电通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于石墨烯的表面传导电子发射源,包括一基板和平行设置于所述基板表面上的两个电极,其特征在于:两个所述电极之间间隙及电极外旁侧设置有纳米材料层,两个所述电极或其中之一的上部设置有石墨烯薄膜元件,所述石墨烯薄膜元件的一旁侧或两旁侧向外延伸。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李福山郭太良吴朝兴张永志寇丽杰张蓓蓓
申请(专利权)人:福州大学
类型:发明
国别省市:

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