基于MEMS技术的盐度检测传感器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种基于MEMS技术的盐度检测传感器，微波信号源（102）连接到环形电桥（101）的第一端口（1），传感电极（104）连接到环形电桥（101）的第二端口（2），第一MEMS终端式微波功率传感器（1031）和第二MEMS终端式微波功率传感器（1032）分别连接到环形电桥（101）的第三端口（3）和第四端口（4）。本实用新型专利技术解决了盐溶液中电容效应对检测的各种不利影响，并具有高的可靠性、高的重复性、优异的性能、快的响应速度、小的体积、低的生产成本等特点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是利用不同盐度下检测电极对输入微波信号的反射系数不同，通过MEMS终端式微波功率传感器结构测量反射信号的功率变化得到盐溶液的盐度值，属于微电子器件

技术介绍
近年来，高速公路建设的规模十分巨大，因此大量公路路面的监测和维护日益重要。公路路面在实际的使用过程中，路面结冰会对整个路面结构产生不利的影响，并极大的增大了交通事故的发生几率。盐度检测传感器能够准确测量路面积水中除冰剂(主要成分是氯化钙、氯化纳、氯化镁等)的浓度和积水的结冰点，从而对公路路面的结冰温度进行实时测量和预警，因此对于高速公路系统的信息化和智能化以及交通事故的预防预警有着十分重要的意义。目前测量盐度的技术是基于相位检波法、双脉冲法、动态脉冲法和频率法的 原理实现，其核心就是用脉冲或者正弦波信号加载到电导池电极上，通过对不同浓度盐溶液中电导率变化的检测实现盐度值的测量。但是，由于盐溶液的等效电路为电阻和电容的并联，在上述检测方法中核心是检测盐溶液电导率的变化，因此需要将盐溶液电容效应的影响降到最低，然而，由于电容效应的复杂性，使得其很难消除，且增加了整个电路的复杂性和响应时间。专利技术内容技术问题本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于MEMS技术的盐度检测传感器，其特征在于：该传感器包括微波信号源（102）、环形电桥（101）、传感电极（104）以及第一MEMS终端式微波功率传感器（1031）和第二MEMS终端式微波功率传感器（1032）；环形电桥（101）设有四个端口，即第一端口（1），第二端口（2），第三端口（3），第四端口（4）；微波信号源（102）连接到环形电桥（101）的第一端口（1），传感电极（104）连接到环形电桥（101）的第二端口（2），第一MEMS终端式微波功率传感器（1031）和第二MEMS终端式微波功率传感器（1032）分别连接到环形电桥（101）的第三端口（3）和第四端口（4）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄庆安，韩磊，殷刚毅，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：实用新型
国别省市：