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基于MEMS技术的盐度检测传感器制造技术
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下载基于MEMS技术的盐度检测传感器的技术资料
文档序号:8148132
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本实用新型提供了一种基于MEMS技术的盐度检测传感器,微波信号源(102)连接到环形电桥(101)的第一端口(1),传感电极(104)连接到环形电桥(101)的第二端口(2),第一MEMS终端式微波功率传感器(1031)和第二MEMS终端式...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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