一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统技术方案

本实用新型专利技术目的一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，包括依次设置的承载室、三个缓冲室、两个以上沉积室以及卸载室；其中，所述承载室和所述卸载室分别用于装载和卸载承载盘，所述缓冲室具隔离两种镀膜机制，且至少有一个具有承载盘加热机构；每个沉积室分别执行不同的膜层沉积；不同功能的腔室皆使用隔离门进行隔离，以实现不同的功能，本实用新型专利技术将缓冲室设置于不同薄膜沉积系中，使两种系统合而为一，降低设备设置成本，且因一次性完成两种薄膜的沉积，无需破除真空后再将承载盘载入另一套系统，大大节省生产时间，有效降低承载盘受环境的污染。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ー种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，此类设备可广泛应用于任何需要于真空下进行加工的制程且加工需要一定时间的制程，例如太阳能硅片镀膜加エ。
技术介绍
用宽带隙的非晶硅作为窗ロ层或发射扱，单晶硅或多晶硅片作衬底，形成了非晶硅/晶体硅异质结太阳电池。它可以同时实现PN结和优异的表面钝化，并且所有エ艺可在低温(〈200°C)下完成，既减少了能耗，又能避免硅片在高温处理过程中可能产生的性能退化。由于这种电池既利用了薄膜制造エ艺优势同时又发挥了晶体硅和非晶硅的材料性能特点，具有实现高效低成本硅太阳电池的发展前景。然而由于制程的原因，异质结太阳能 电池在制作时需要两种镀膜设备分别是等离子化学气相沉积系统沉积非晶硅薄膜及物理气相沉积系统溅射导电层。传统上是设置两套沉积系统来完成上述的薄膜沉积，通常是完成非晶硅薄膜沉积后，移载出系统，再进入溅射系统沉积导电层，此举不仅增加设备设置成本，且对晶体硅而言容易造成表面污染的问题。
技术实现思路
本技术主要目的系提供一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，来解决晶体硅表面污染及设备投入成本高的问题。为了达成上述技术目的，本技术的技术方案是提供一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，包括依次设置的承载室、三个缓冲室、两个以上沉积室以及卸载室；其中，所述承载室和所述卸载室分别用于装载和卸载承载盘，所述缓冲室具隔离两种镀膜机制，且至少有ー个具有承载盘加热机构；每个沉积室分别执行不同的膜层沉积；不同功能的腔室皆使用隔离门进行隔离，以实现不同的功能。与现有技术相比，本技术具有如下优点本技术将缓冲室设置于不同薄膜沉积系中，使两种系统合而为一，降低设备设置成本。进ー步的，本技术在缓冲室设置涡轮分子帮浦进行气体隔绝，使两种沉积系统不会相互产生污染。更进一歩的，通过本技术的设置可以一次性完成两种薄膜的沉积，无需破除真空后再将承载盘载入另ー套系统，大大节省生产时间。附图说明图I系为本技术示意图。主要组件符号说明101...承载室102...第一反应室103...第二反应室104...第一缓冲室105...第二缓冲室106...第三反应室107...第四反应室108...第三缓冲室109...卸载室 110...第一隔离门111...第二隔离门112...第三隔离门113...第四隔离门114...第五隔离门115...第六隔离门116...第七隔离门117...回传机构118···维修区具体实施方式为使方简捷了解本专利技术之其他特征内容与优点及其所达成之功效能够为显现，兹将本技术配合附图，详细明如下请阅图1，本技术之主要目的系ー种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，该太阳能电池薄膜沉积系统包括依序连接的第一隔离门110、承载室101、第二隔离门111、第一反应室102、第三隔离门112、第二反应室103、第四隔离门113、第一缓冲区104、第五隔离门114、第二缓冲室105、第三反应室106、第四反应室107、第三缓冲室108、第六隔离门115、卸载室109、第七隔离门116、回传机构118及维修区117所组成。在异质结太阳能电池薄膜沉积系统沉积过程中，承载盘首先透过第一隔离门110传送到承载室101进行预真空处理，所述之真空处理也就是利用真空帮浦使承载室压强下降至一定范围，完成后，承载盘再透过第二隔离阀门111进入第一反应室102进行真空反应，所述之真空反应也就是在真空一定压腔下，由高频电源解离由喷头进入的反应气体而产生等离子体进行薄膜沉积，完成后，承载盘再透过第三隔离阀门112进入第二反应室103进行第二次真空反应，完成后，再透过第四隔离阀门113进入第一缓冲室104进行真空处理，再透过第五隔离阀门114进入第二缓冲室105进行加热处理，使承载盘达到设定的温度后传送到第三反应室106及第四反应室107进行真空反应，完成后，传送至第三缓冲室108进行承载盘冷却，完成后，再透过第六隔离门115传送至卸载室109进行真空卸载，所述之真空卸载是利用氮气冲入卸载室109内，使卸载室109与大气压强一致,完成后,承载盘传送至回传机构118，反复执行上述步骤，达到量产的目的。在上述异质结太阳能电池沉积系统中，由于回传机构118内侧会保留一定空间，所以将内侧空间设置维修区117，无需再另行设置区域，有效降低设备设置成本，同时，也有效的降低占地面积。在上述异质结太阳能电池沉积系统中，一次性完成两种薄膜的沉积，中途无需破除真空移载承载盘到另一套系统，有效隔绝晶体硅表面污染的问题。综上所述，本技术在突破先前之技术结构下，确实已达到所欲增进之功效，且也非熟悉该项技艺者所于思及，其所具之进步性、实用性，显已符合技术之申请要件，惟上详细明系针对本技术之一可实施之具体明，该实施并非用以限 制本技术之专范围，而凡未脱本技术技艺所为之等效实施或变，均应包含于本案之专范围中。权利要求1.一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，包括依次设置的承载室、三个缓冲室、两个以上沉积室以及卸载室；其中，所述承载室和所述卸载室分别用于装载和卸载承载盘，所述缓冲室具隔离两种镀膜机制，且至少有ー个具有承载盘加热机构；每个沉积室分别执行不同的膜层沉积，以实现不同的功能。2.根据权利要求I所述之ー种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，其中该腔室分别透过隔离门进行隔离。专利摘要本技术目的一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，包括依次设置的承载室、三个缓冲室、两个以上沉积室以及卸载室；其中，所述承载室和所述卸载室分别用于装载和卸载承载盘，所述缓冲室具隔离两种镀膜机制，且至少有一个具有承载盘加热机构；每个沉积室分别执行不同的膜层沉积；不同功能的腔室皆使用隔离门进行隔离，以实现不同的功能，本技术将缓冲室设置于不同薄膜沉积系中，使两种系统合而为一，降低设备设置成本，且因一次性完成两种薄膜的沉积，无需破除真空后再将承载盘载入另一套系统，大大节省生产时间，有效降低承载盘受环境的污染。文档编号H01L31/18GK202626293SQ20122029671公开日2012年12月26日 申请日期2012年6月25日 优先权日2012年6月25日专利技术者周文彬, 刘幼海, 刘吉人 申请人:吉富新能源科技(上海)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，包括依次设置的承载室、三个缓冲室、两个以上沉积室以及卸载室；其中，所述承载室和所述卸载室分别用于装载和卸载承载盘，所述缓冲室具隔离两种镀膜机制，且至少有一个具有承载盘加热机构；每个沉积室分别执行不同的膜层沉积，以实现不同的功能。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：