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本实用新型目的一种用于异质结太阳能电池薄膜沉积系统，包括依次设置的承载室、三个缓冲室、两个以上沉积室以及卸载室；其中，所述承载室和所述卸载室分别用于装载和卸载承载盘，所述缓冲室具隔离两种镀膜机制，且至少有一个具有承载盘加热机构；每个沉积室分...
该专利属于吉富新能源科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉富新能源科技(上海)有限公司授权不得商用。

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