一种应用于固体激光器的气体净化装置制造方法及图纸

一种应用于固体激光器的气体净化装置，包括一个内置净化装置各个部件的净化装置外壳，其特征在于，在净化装置外壳内部具有与外部连通的入气管和出气管，在入气管到出气管之间依次密封连接有多级不同功能的过滤器和气泵，用于滤除对激光过程有害的各种尘埃和水分子。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

—种应用于固体激光器的气体净化装置
本技术涉及固体激光器领域，特别涉及一种应用于固体激光器的气体净化装置。
技术介绍
在固体激光器制造过程中，为保证激光器的正常使用和延长其使用寿命，一般采用在高度洁净的空间，进行密封处理的方法，或者采用灌注氮气的方法来保证激光器腔体内的洁净度要求。但是一般采用在高度洁净空间进行密封处理的制造过程，仍然存在会影响激光器内部洁净程度的因素，导致对激光器腔体的污染，很难达到理想的洁净度要求。那么即使在这种情况下进行了密封处理，也会有微量污染物残留在在激光器的腔体内，使激光器存在潜在的故障风险，影响其寿命长度。
技术实现思路
本专利技术针对以上的问题特别提出了能够实现对激光器腔体提供高度洁净环境，达到极高的洁净度，从而延长激光器的使用寿命的气体净化装置。本专利技术的技术方案是一种应用于固体激光器的气体净化装置，包括一个内置净化装置各个部件的净化装置外壳，其特征在于，在净化装置外壳内部具有与外部连通的入气管和出气管，在入气管到出气管之间依次密封连接多级不同功能的过滤器和气泵，用于滤除对激光过程有害的各种尘埃和水分子。其中各级过滤器，分别封装于不同的过滤盒中，并在不同的滤盒中分别设有不同性能过滤网，分别针对O. 1-15 μ m的尘埃颗粒以及水分子进行分级过滤。所述气泵与出气口两者之间的衔接是严密的气密性连接，通过严密的气密性连接，从而实现经过净化的气体不会受到二次污染而被提供给激光器腔体内所用。本专利技术的有益效果该气体净化装置，通过不同层次的过滤盒阶段实现高度空气洁净，并对气体进行干燥，进一步降低空气中水分对固体激光器可能产生的影响，然后用该净化装置与激光器腔体的气密性连接并输送气体至激光器腔体，实现对密封的激光器腔体进行循环交换净化，使激光器腔体内部，达到极高的洁净度，从而延长了激光器使用寿命O附图说明图I是本专利技术的结构示意图。其中1、外壳；2、入气管；3、第一过滤器；4、第二过滤器；5、干燥盒；6、气泵；7、出气管。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。一种应用于固体激光器的气体净化装置，包括一个内置净化装置各个部件的净化装置外壳1，其特征在于，在净化装置外壳I内部具有与外部连通的入气管2和出气管7，在入气管2到出气管7之间依次密封连接有各级过滤器，在本示意图中只设置了第一过滤器3、第二过滤器4、干燥盒5和气泵6，必要时还可以再增加过滤器的级数，用于实现不同的过滤精度。例如，在本结构示意图中第一过滤盒中和第二过滤盒中分别设有过滤网，而第一过滤盒中的过滤网主要是针对1-5 μ m的尘埃颗粒，而第二过滤盒中的过滤网是针对小于I μ m的尘埃颗粒。空气经入气管I进入过滤盒部分，先经过第一过滤器过滤1-5 μ m的尘埃粒子，再经过第二过滤器过滤小于I μ m的尘埃粒子，对于过滤器的设置体现了该装置独到的设计用心，分阶段对气体进行不同程度的过滤，第一次过滤则过滤掉孔径较大的尘埃粒子，第二次则是进一步在第一次过滤的基础上过滤孔径更小一些的尘埃颗粒，接着经过干燥盒(水分子过滤器)干燥，干燥后湿度可达到10%以下。最后由气泵把气通过出气口送出。在生产、使用、维修时均可使用，气体循环利用，节约资源。·所述气泵与出气口两者之间的衔接是严密的气密性连接，通过严密的气密性连接，从而实现经过净化的气体不会受到二次污染而被提供给激光器腔体内所用。本净化装置可应用于激光器制造的生产过程中、维修过程中，以及激光器的实时运行过程中。使固体激光器内部保持洁净，延长激光器使用寿命。权利要求1.ー种应用于固体激光器的气体浄化装置，包括一个内置浄化装置各个部件的浄化装置外壳，其特征在于，在浄化装置外壳内部具有与外部连通的入气管和出气管，在入气管到出气管之间依次密封连接多级不同功能的过滤器和气泵，用于滤除对激光过程有害的各种尘埃和水分子。2.根据权利要求I所述应用于固体激光器的气体浄化装置，其特征在于，所述各级过滤器，分别封装于不同的过滤盒中，并在不同的滤盒中分别设有不同性能过滤网，分别针对O.1-15 μ m的尘埃颗粒以及水分子进行分级过滤。3.根据权利要求I上所述应用于固体激光器的气体浄化装置，其特征在于，所述气泵针对出气ロ送气，而气泵与出气ロ两者之间的衔接是严密的气密性连接。专利摘要一种应用于固体激光器的气体净化装置，包括一个内置净化装置各个部件的净化装置外壳，其特征在于，在净化装置外壳内部具有与外部连通的入气管和出气管，在入气管到出气管之间依次密封连接有多级不同功能的过滤器和气泵，用于滤除对激光过程有害的各种尘埃和水分子。文档编号B01D50/00GK202620964SQ20122024676公开日2012年12月26日 申请日期2012年5月29日 优先权日2012年5月29日专利技术者郑全昌, 胡德洲, 薛钰, 卢红星, 张军 申请人:深圳市瑞丰恒科技发展有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种应用于固体激光器的气体净化装置，包括一个内置净化装置各个部件的净化装置外壳，其特征在于，在净化装置外壳内部具有与外部连通的入气管和出气管，在入气管到出气管之间依次密封连接多级不同功能的过滤器和气泵，用于滤除对激光过程有害的各种尘埃和水分子。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑全昌，胡德洲，薛钰，卢红星，张军，
申请(专利权)人：深圳市瑞丰恒科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：