流体供给装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种流体供给装置，其包括：内部容器，用于存储在制造系统中使用的流体；外部容器，在内侧设置有所述内部容器；连接部，与所述外部容器结合，并设置有用于将存储于所述内部容器中的流体供给到制造系统的第一连接单元；所述外部容器包括通道机构，该通道机构将所述连接部和所述内部容器连通，当向制造系统供给流体时，使所述通道机构朝向重力方向并面向制造系统所具有的设置面上。本发明专利技术能够减少向制造系统供给流体之后残留在内部容器中的流体量，从而能够消减材料费损失等，并通过省略作为一次性消耗品的汲取管结构，提高作业便利性和作业稳定性的同时，可降低制造成本和维护成本。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种可用于存储流体并供给被存储流体的流体供给装置。
技术介绍
在半导体元件等电子组件、液晶显示装置(IXD :Liquid Crystal Display)等显示装置、生物产业、制药产业、太阳能产业等的制造系统中使用流体供给装置。例如，所述流体供给装置可以向所述制造系统提供流体，即，在所述制造系统中使用的光刻胶、蚀刻剂、化学气相沉积反应剂、溶剂、晶片及工具洗涤剂、化学机械抛光组合物等。图I是现有技术涉及的流体供给装置的概略剖视图，图2是示出在现有技术涉及的流体供给装置上结合有密封件和盖子的状态的概略剖视图。图2是以图I的放大图为基准示出在现有技术涉及的流体供给装置上结合有密封件和盖子的状态图。 参照图1，现有技术涉及的流体供给装置10包括内部容器11、外部容器12、连接部13和汲取管14。在所述内部容器11中可存储在所述制造系统100中使用的流体。所述内部容器11设置成位于所述外部容器12的内侧。所述内部容器11与所述连接部13连通，从而存储于所述内部容器11中的流体可以通过所述连接部13被供给所述制造系统100。所述外部容器12在内侧设置有所述内部容器11。所述外部容器12包括供所述连接部12结合的通道构件121，通过所述通道构件121与所述连接部13连通。S卩，所述外部容器12整体可以形成为圆柱形，可以通过所述通道构件121 —侧被开放。所述连接部13与所述外部容器12结合，且分别与所述外部容器12及所述内部容器11连通。在所述连接部13上分别结合有第一连接单元15和第二连接单元16，该第一连接单元15与所述内部容器11连通，该第二连接单元16与所述外部容器12连通。所述第一连接单元15与所述制造系统100连接，而存储于所述内部容器11中的流体可通过所述汲取管14、所述连接部13和所述第一连接单元15被供给至所述制造系统100。所述第二连接单元16可以与气体供给源200连接，从所述气体供给源200供给的气体通过所述第二连接单元16和所述连接部13供给至所述内部容器11的外侧与所述外部容器12的内侧之间的空间A。被供给到所述内部容器11与所述外部容器12之间的空间A的气体可以对所述内部容器11施力，由此，所述内部容器11被压缩，从而能够使存储于所述内部容器11中的流体被排出。所述连接部13包括结合构件131、连接构件132、支承构件133、探头134和接头构件 135。所述结合构件131以使所述通道构件121位于内侧的方式紧固在所述外部容器12上。所述结合构件131通过在所述结合构件131的内周表面上形成的内螺纹和在所述外部容器12的外周表面上形成的外螺纹的结合来紧固在所述外部容器12上。所述结合构件131包括第一连接孔1311。从所述第二连接单元16供给的气体可以通过所述第一连接孔1311供给至所述内部容器11与所述外部容器12之间的空间A。所述连接构件132以使所述结合构件131位于内侧的方式紧固在所述结合部件131上。所述连接构件132通过在所述连接构件132的内周表面上形成的内螺纹和在所述结合构件131的外周表面上形成的外螺纹的结合来紧固在所述结合构件131上。所述支承构件133被所述结合构件131支承地设置在所述连接构件132的内侧，并支承所述探头134。所述支承构件133包括第二连接孔1331。从所述第二连接单元16供给的气体可以通过所述第二连接孔1331和所述第一连接孔1311供给至所述内部容器11与所述外部容器12之间的空间A。所述探头134的一侧与所述内部容器11连通，另一侧与所述第一连接单元15连通。所述探头134贯穿所述支承构件133和所述结合构件131，且一侧与所述内部容器11连通，并且被所述支承构件133支承。存储于所述内部容器11中的流体可以通过所述汲取管14、所述探头134和所述第一连接单元15供给至所述制造系统100。在所述接头构件135的一侧结合有所述汲取管14，在另一侧结合有所述探头134。所述探头134可以通过所述接头构件135与所述汲取管14连通，并通过所述汲取管14与 所述内部容器11连通。所述汲取管14设置在所述内部容器11的内侧。所述汲取管14可以从所述内部容器11的上侧向下侧(B箭头方向)长长地形成。所述汲取管14与所述接头构件135结合，使得一侧与所述探头134连通，而另一侧位于所述内部容器11下侧。存储于所述内部容器11中的流体可从所述内部容器11的下侧向所述汲取管14的内部移动，经由所述汲取管14和所述接头构件135移动到所述探头134之后，通过所述第一连接单元15供给至所述制造系统100。参照图I和图2，现有技术涉及的流体供给装置10还包括密封件17和盖子18。当将现有技术涉及的流体供给装置10在所述内部容器11中存储流体的状态下搬运到所述制造系统100所处位置的过程中，所述密封件17和所述盖子18防止流体从所述内部容器11排出。即，现有技术涉及的流体供给装置10除了具有向所述制造系统100供给流体的功能之外，进一步为了实现存储流体的功能和搬运流体的功能，包括所述密封件17和所述盖子18。所述密封件17与所述结合构件131结合，从而进行密封使存储于所述内部容器11中的流体不向外部排出。所述探头134贯穿所述密封件17而与所述接头构件135连接并连通，由此，现有技术涉及的流体供给装置10可处于向所述制造系统100供给流体的状态。所述盖子18紧固在所述结合构件131上。所述盖子18可以通过在所述盖子18的内周表面上形成的内螺纹和在所述结合构件131的外周表面上形成的外螺纹的结合来紧固在所述结合构件131上。所述盖子18以位于所述密封件17之上的方式紧固在所述结合构件131上，从而能够防止所述密封件17因外力受损。在此，现有技术涉及的流体供给装置10存在如下问题。第一、现有技术涉及的流体供给装置10向所述制造系统100供给流体时，以使所述通道构件121朝向上侧的方式设置在所述制造系统100所具有的设置面300上。因此，现有技术涉及的流体供给装置10中，位于所述内部容器11下侧的流体通过所述汲取管14向上侧移动，并从所述内部容器11排出。即，存储于现有技术涉及的流体供给装置10中的流体向与重力方向(B箭头方向)相反的方向移动，并从所述内部容器11排出。因此，现有技术涉及的流体供给装置10将存储于所述内部容器11中的流体供给所述制造系统100之后，在所述内部容器11中仍然残留有相当多的流体，所以存在材料费损失等问题。第二、现有技术涉及的流体供给装置10，利用所述汲取管14将存储于所述内部容器11中的流体供给所述制造系统100，但是所述汲取管14是使用后需要更换或清洗的一次性消耗品。所以，现有技术涉及的流体供给装置10存在需要进行更换、清洗所述汲取管14的作业等额外作业的问题，因此存在为了进行更换、清洗所述汲取管14的作业等而发生额外费用的问题。第三、现有技术涉及的流体供给装置10，所述连接部13由相当数量的构件构成。所以现有技术涉及的流体供给装置10存在组装所述连接部13的作业复杂麻烦的问题。另夕卜，为了防止供给至所述制造系统100的流体和从所述第二连接单元16供给的气体通过构成所述连接部13的构件之间泄漏，现有技术涉及的流本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.04.12 KR 10-2010-00332841.一种流体供给装置，其特征在于，包括 内部容器，用于存储制造系统中所使用的流体； 外部容器，在其内侧设置有所述内部容器； 连接部，与所述外部容器结合，并设置有用于将存储于所述内部容器中的流体供给到制造系统的第一连接单元；以及 第一壳体，包括第一支承面，该第一支承面被制造系统所具有的设置面支承； 所述外部容器包括通道机构，该通道机构将所述连接部和所述内部容器连通，当向制造系统供给流体时，使所述通道机构沿着重力方向面向制造系统所具有的设置面， 所述第一壳体以所述连接部位于内侧的方式与上述外部容器结合。2.根据权利要求I所述的流体供给装置，其特征在于， 所述连接部包括，与所述外部容器结合的结合机构以及与所述结合机构结合的探头机构； 所述探头机构包括第一流入孔，使存储于所述内部容器中的流体流入；通道孔，与所述第一流入孔连通，用于使通过所述第一流入孔流入的流体向所述第一连接单元移动； 所述第一连接单元以与所述通道孔连通的方式结合在所述探头机构上。3.根据权利要求2所述的流体供给装置，其特征在于， 所述结合机构包括用于支承所述探头机构的支承构件， 所述探头机构包括用于被所述支承构件支承的突出构件。4.根据权利要求2所述的流体供给装置，其特征在于， 所述通道机构包括用于紧固在所述结合机构的第一紧固构件， 所述结合机构包括用于紧固在所述第一紧固构件的第二紧固构件。5.根据权利要求2所述的流体供给装置，其特征在于， 在所述连接部设置有第二连接单元，通过该第二连接单元供给气体以向所述内部容器施力； 所述结合机构包括第一连接孔，该第一连接孔与所述内部容器和所述外部容器之间的空间连通，从而将通过所述第二连接单元供给的气体供给到所述内部容器和所述外部容器之间的空间； 所述探头机构包括第二连接孔，该第二连接孔分别与所述第二连接单元和所述第一连接孔连通。6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：李普煐，
申请(专利权)人：LDS公司，
类型：
国别省市：