流体供给装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种流体供给装置，其包括：内部容器，用于存储在制造系统中使用的流体；外部容器，在内侧设置有所述内部容器；连接部，与所述外部容器结合，并设置有用于将存储于所述内部容器中的流体供给到制造系统的第一连接单元；所述外部容器包括通道机构，该通道机构将所述连接部和所述内部容器连通，当向制造系统供给流体时，使所述通道机构朝向重力方向并面向制造系统所具有的设置面上。本发明专利技术能够减少向制造系统供给流体之后残留在内部容器中的流体量，从而能够消减材料费损失等，并通过省略作为一次性消耗品的汲取管结构，提高作业便利性和作业稳定性的同时，可降低制造成本和维护成本。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种可用于存储流体并供给被存储流体的流体供给装置。
技术介绍
在半导体元件等电子组件、液晶显示装置(IXD :Liquid Crystal Display)等显示装置、生物产业、制药产业、太阳能产业等的制造系统中使用流体供给装置。例如，所述流体供给装置可以向所述制造系统提供流体，即，在所述制造系统中使用的光刻胶、蚀刻剂、化学气相沉积反应剂、溶剂、晶片及工具洗涤剂、化学机械抛光组合物等。图I是现有技术涉及的流体供给装置的概略剖视图，图2是示出在现有技术涉及的流体供给装置上结合有密封件和盖子的状态的概略剖视图。图2是以图I的放大图为基准示出在现有技术涉及的流体供给装置上结合有密封件和盖子的状态图。 参照图1，现有技术涉及的流体供给装置10包括内部容器11、外部容器12、连接部13和汲取管14。在所述内部容器11中可存储在所述制造系统100中使用的流体。所述内部容器11设置成位于所述外部容器12的内侧。所述内部容器11与所述连接部13连通，从而存储于所述内部容器11中的流体可以通过所述连接部13被供给所述制造系统100。所述外部容器12在内侧设置有所述内部容器11。所述外部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.04.12 KR 10-2010-00332841.一种流体供给装置，其特征在于，包括 内部容器，用于存储制造系统中所使用的流体； 外部容器，在其内侧设置有所述内部容器； 连接部，与所述外部容器结合，并设置有用于将存储于所述内部容器中的流体供给到制造系统的第一连接单元；以及 第一壳体，包括第一支承面，该第一支承面被制造系统所具有的设置面支承； 所述外部容器包括通道机构，该通道机构将所述连接部和所述内部容器连通，当向制造系统供给流体时，使所述通道机构沿着重力方向面向制造系统所具有的设置面， 所述第一壳体以所述连接部位于内侧的方式与上述外部容器结合。2.根据权利要求I所述的流体供给装置，其特征在于， 所述连接部包括，与所述外部容器结合的结合机构以及与所述结合机构结合的探头机构； 所述探头机构包括第一流入孔，使存储于所述内部容器中的流体流入；通道孔，与所述第一流入孔连通，用于使通过所述第一流入孔流入的流体向所述第一连接单元移动； 所述第一连接单元以与所述通道孔连通的方式结合在所述探头机构上。3.根据权利要求2所述的流体供给装置，其特征在于， 所述结合机构包括用于支承所述探头机构的支承构件， 所述探头机构包括用于被所述支承构件支承的突出构件。4.根据权利要求2所述的流体供给装置，其特征在于， 所述通道机构包括用于紧固在所述结合机构的第一紧固构件， 所述结合机构包括用于紧固在所述第一紧固构件的第二紧固构件。5.根据权利要求2所述的流体供给装置，其特征在于， 在所述连接部设置有第二连接单元，通过该第二连接单元供给气体以向所述内部容器施力； 所述结合机构包括第一连接孔，该第一连接孔与所述内部容器和所述外部容器之间的空间连通，从而将通过所述第二连接单元供给的气体供给到所述内部容器和所述外部容器之间的空间； 所述探头机构包括第二连接孔，该第二连接孔分别与所述第二连接单元和所述第一连接孔连通。6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：李普煐，
申请(专利权)人：LDS公司，
类型：
国别省市：