用于在化学和/或电化学处理系统中输送类板状基板的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于在系统(8)中输送类板状基板(10)的装置，所述系统(8)用于基板的化学和/或电化学处理、尤其是用于导电层的无电沉积。所述装置包括至少一个旋转的输送元件(14)，所述输送元件(14)至少部分地由无机玻璃构成。此外，本发明专利技术涉及一种传送装置，其包含根据权利要求1至权利要求11中任一项所述被成对地布置在彼此顶部上的多个旋转的输送元件(14)，由此类板状基板(10)在所述输送元件(14)之间是能移动的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于在化学和/或电化学处理系统中输送类板状基板的装置
本专利技术涉及一种用于在化学和/或电化学处理、尤其用于在导电层的无电沉积的系统中输送类板状基板的装置，其具有独立专利权利要求的特征。
技术介绍
类板状基板的化学或电化学处理是通过处理设备完成的。基板穿过容纳有处理溶液的浴槽，由此涂层、尤其是金属涂层、尤其是铜就沉积在类箔片状或类板状基板的表面上。类板状基板例如是晶片、太阳能电池、挠性箔片、尤其是印刷电路(例如印刷电路板)以及导电箔片。通过多个相似的旋转的输送元件以水平方向输送类板状基板。输送元件可以是动力驱动的，并且同时以作为用于类板状基板的支承件和传送驱动件为特征。每个旋转的输送元件通过双侧铰接的旋转轮轴形成。轮轴具有接触和输送基板的圆柱形罩壳表面，或者轮轴包括用于被布置在其长度上的类板状基板的盘状圆柱形支承元件，由此基板的下侧靠在支承元件上，或者由此支承元件位于基板的上侧。一对轮轴需要被精确地布置成平直的而且平行的，使得接触基板的上侧和下侧的接触区域精确地为一个在另一个上方。这样可将类板状基板的偏斜和变形、以及轮轴的偏心运转减至最小。旋转的输送元件以及接触浴槽溶液的所有部件必需本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.01.26 DE 102010000211.91.一种用于在系统中输送类板状基板(10)的装置，所述系统用于所述基板的化学和/或电化学处理，所述装置包括至少一个旋转的输送元件(14)，所述输送元件(14)至少部分地由无机玻璃构成，由此所述输送元件(14)的输送部分(20)由用于所述类板状基板(10)的至少两个旋转对称的支承元件形成，并且由此所述旋转对称的支承元件被安装到或收缩到所述输送元件(14)上，两个相邻的支承元件的侧向边界之间的距离具有小于300mm的值。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述系统用于导电层的无电沉积。3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述输送元件(14)具有至少一个轴承元件(22)以及至少一个输送部分(20)，所述轴承元件(22)用于所述输送元件(14)的旋转承载且至少部分地由无机玻璃制成，所述输送部分(20)显示出用于所述类板状基板(10)的至少一个二维或类线状的接触区域。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述输送元件(14)具有轴线、轴端(24)或轴(42)，所述轴线、所述轴端(24)或所述轴(42)由无机玻璃制成，且所述轴线、所述轴端(24)或所述轴(42)至少部分地形成所述轴承元件(22)。5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述轴线、所述轴端(24)或所述轴(42)至少部分地由玻璃棒或玻璃管(30)形成，所述玻璃棒或玻璃管(30)具有至少在一端处封闭的前部(32)。6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述输送部分(20)包括采用轴形状或管形状的输送元件(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：M克雷奇，H孔策，A卢奇，
申请(专利权)人：安美特德国有限公司，
类型：
国别省市：