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本发明公开了一种用于在系统(8)中输送类板状基板(10)的装置，所述系统(8)用于基板的化学和/或电化学处理、尤其是用于导电层的无电沉积。所述装置包括至少一个旋转的输送元件(14)，所述输送元件(14)至少部分地由无机玻璃构成。此外，本发明...
该专利属于安美特德国有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安美特德国有限公司授权不得商用。

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