用于运动管件和固定平板连接处的密封装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种密封装置，公开了一种用于运动管件和固定平板连接处的密封装置。所述运动管件可相对固定平板旋转和/或上下滑动，该密封装置包括上轴套和下轴套，所述上轴套和下轴套分别套在所述运动管件的管壁上；下轴套下端与所述固定平板连接，下轴套上部位于上轴套下部的内部；上轴套上端与所述运动管件连接。本发明专利技术采用上轴套和下轴套对运动管件和固定平板的连接处进行封闭，一方面避免运动管件中喷出的液体从该连接处进入其它腔室，另一方面保证运动管件的顺利运动；进一步地，在上轴套上部的内壁和下轴套下部的外壁之间的间隙中设有滚珠固定架和滚珠，可有效保证运动管件与固定平板的垂直度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种密封装置，特别是涉及ー种用于可旋转和/或上下滑动的运动管件和固定平板连接处的密封装置。
技术介绍
目前，在多种设备中需要安装既可以旋转又可以滑动的运动管件，如用于硅片清洗的清洗设备エ艺腔室中的喷淋臂。根据不同エ艺的要求，运动管件在工作时可相对其固定平板进行旋转和/或上下滑动，因而运动管件与固定平板之间需留有一定的间隙来保证顺利运动。然而，管件中喷出的液体经常会有部分通过运动管件与固定平板之间的间隙进入到其它的腔室中，影响其它腔室的正常运行。因此，对运动管件和固定平板的连接处进行有效密封是非常必要的，但现有的设备中未设置密封装置来防止该类连接处的液体渗漏。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术要解决的技术问题是如何提供一种用于运动管件和固定平板连接处的密封装置，以克服运动管件中喷出的液体从该连接处进入其它腔室导致影响其他腔室正常运行的弊端。(ニ)技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供的一种用于运动管件和固定平板连接处的密封装置，所述运动管件可相对固定平板旋转和/或上下滑动，所述密封装置包括上轴套和下轴套，所述上轴套和下轴套分别套在所述运动管件的管壁上；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于运动管件和固定平板连接处的密封装置，所述运动管件可相对固定平板旋转和/或上下滑动，其特征在于，所述密封装置包括上轴套和下轴套，所述上轴套和下轴套分别套在所述运动管件的管壁上；下轴套下端与所述固定平板连接，下轴套上部位于上轴套下部的内部；上轴套上端与所述运动管件连接。

【技术特征摘要】
1.一种用于运动管件和固定平板连接处的密封装置，所述运动管件可相对固定平板旋转和/或上下滑动，其特征在于，所述密封装置包括上轴套和下轴套，所述上轴套和下轴套分别套在所述运动管件的管壁上；下轴套下端与所述固定平板连接，下轴套上部位于上轴套下部的内部；上轴套上端与所述运动管件连接。2.如权利要求I所述的用于运动管件和固定平板连接处的密封装置，其特征在于，所述下轴套下端带有沿径向突起的边沿，所述边沿与固定平板连接。3.如权利要求I所述的用于运动管件和固定平板连接处的密封装置，其特征在于，所述下轴套上部的外壁与所述上轴套下部的内壁之间设有间隙。4.如权利要求3所述的用于运动管件和固定平板连接处的密封装置，其特征在于，所述下轴套上部的外壁与所述上轴套下部的内壁之间的间隙中设有滚珠固定架，所述滚珠固定架内设...

【专利技术属性】
技术研发人员：王浩，姬丹丹，王锐廷，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：