抛光板自转和公转的装置及使用该装置的抛光板操作方法制造方法及图纸

一种用于使抛光板自转和公转的装置，其可提高玻璃基板的抛光率，因为抛光板可同时自转和公转。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于使抛光板自转(rotation)和公转(revolution)的装置以及ー种使用该装置的抛光板操作方法，更具体地，涉及ー种用于使抛光板自转和公转的装置以及ー种使用该装置的抛光板操作方法，所述装置和方法可通过允许抛光板自转和公转来提高玻璃基板的抛光率。
技术介绍
通常，非常重要的是使应用于液晶显示器的玻璃基板保持其平面度(flatness)在某一水平，从而准确地呈现图像。因此，存在于玻璃基板的表面的细微的不均匀或起伏应通过抛光エ艺去除。玻璃基板的抛光エ艺可分为将单独的玻璃基板逐个抛光的所谓“操作顺序控制阵列(Oscar)”法和连续抛光一系列玻璃基板的所谓“排队(inline)”法。抛光エ艺还可分为仅对玻璃基板的ー个表面抛光的“单面抛光”和对玻璃基板的两个表面都抛光的“双面抛V, ”JU O參照图1，其示意性示出一个常规的玻璃基板抛光设备，在玻璃基板G通过托架4保持在下部板2上的状态中，抛光设备10将ー个上部板(或抛光板)8——其中抛光垫6安装至该上部板(抛光板)——带至与所述玻璃基板G接触，并同时在转动所述抛光板8时在抛光板8和玻璃基板G之间供应抛光液，由此研磨所述玻璃基板G。对于此，通过使用形成在抛光板8中的多个狭缝8a以及安装在抛光板8上方的与所述抛光板8间隔开的ー个位置处的软管3，抛光设备10借助自由降落供应抛光液体。抛光板8借助从ー个轴7传送的转动カ转动。然而，由于仅抛光板8转动，在提高玻璃基板G的抛光率方面存在限制。
技术实现思路
本专利技术设计用于解决现有技术的问题，因此本专利技术的ー个目的是提供一种能够允许抛光板(或轴)自转和公转的装置，以及使用该装置的抛光板操作方法。本专利技术的另一目的是提供ー种能够提高玻璃基板的抛光率的装置以及使用该装置的抛光板操作方法。一方面，本专利技术提供了一种用于使抛光板自转和公转的装置，包括一个圆柱体构件(20)，具有沿长度方向形成的ー个中空部以及具有形成在外周缘的ー个外周缘齿轮(26);—个轴(50)，沿长度方向安装在所述中空部中并且由所述圆柱体构件(20)支承以能够在偏离所述圆柱体构件(20)的中心的位置自转，ー个轴齿轮(51)安装至所述轴(50)的外周缘，所述轴(50)连接至一个抛光板；以及ー个环齿轮(60)，具有ー个内部齿轮(61)和ー个外部齿轮(62)，所述内部齿轮(61)形成在该环齿轮的内周缘，所述外部齿轮(62)形成在该环齿轮的外周缘，所述内部齿轮(61)被安装为与所述轴齿轮(51)啮合。在将ー个驱动力传送至所述圆柱体构件(20)使得所述圆柱体构件(20)自转的情况下，所述轴(50)借助于偏心性(eccentricity)在所述中空部内公转,所述公转是在所述轴齿轮(51)与所述内部齿轮(61)啮合的状态下进行的。此时，在将一个驱动カ传送至所述外部齿轮(62)以使得所述环齿轮(60)自转的情况下，所述轴齿轮(51)可自转。所述环齿轮(60)可通过使用来自ー个自转马达传送的驱动カ自转，所述圆柱体构件(20)可通过使用来自ー个公转马达传送的驱动カ自转。另外，可在所述环齿轮(60)和所述自转马达之间安装多个齿轮(71)、(72)、(73)、 (74)和(75),以允许传送所述自转马达的驱动力，从而调节齿轮减速比(reduction rate)。此外，在所述外周缘齿轮(26)和所述公转马达之间可安装多个齿轮(22)、(23)和(24)，以允许传送所述公转马达的驱动力，从而调节齿轮減速比。同时，在另一方面，本专利技术还提供了ー种使用使抛光板自转和公转的装置的抛光板操作方法，其中通过推动(force)连接至用于将玻璃基板抛光的抛光板的ー个轴(50)自转和公转，使抛光板同时自转和公转。上述方法中使用的所述装置可包括一个圆柱体构件(20)，具有沿长度方向形成的ー个中空部以及具有形成在外周缘的ー个外周缘齿轮(26);—个轴(50)，沿长度方向安装在所述中空部中并且由所述圆柱体构件(20)支承以能够在偏离所述圆柱体构件(20)的中心的位置自转，ー个轴齿轮(51)安装至所述轴(50)的外周缘，所述轴(50)连接至所述抛光板；以及一个环齿轮(60),具有一个内部齿轮(61)和一个外部齿轮(62),所述内部齿轮(61)形成在该环齿轮的内周缘，所述外部齿轮(62)形成在该环齿轮的外周缘，所述内部齿轮(61)被安装以与所述轴齿轮(51)啮合。随着所述圆柱体构件(20)通过ー个驱动カ自转，所述轴(50)借助于偏心性在所述中空部内公转，所述公转是在所述轴齿轮(51)与所述内部齿轮(61)啮合的状态下进行的。另外，在将ー个驱动カ传送至所述外部齿轮(62)使得所述环齿轮(60)自转的情况下，所述轴齿轮(51)自转。用于所述自转的所述驱动力可由一个自转马达传送，用于所述公转的所述驱动力由一个公转马达传送，可在所述环齿轮(60)和所述自转马达之间安装多个齿轮(71)、(72)、(73)、(74)和(75)，以允许传送所述自转马达的驱动力，从而调节齿轮减速比，以及在所述外周缘齿轮(26)和所述公转马达之间安装多个齿轮(22)、(23)和(24)，以允许传送所述公转马达的驱动力，从而调节齿轮減速比。根据本专利技术的用于使抛光板自转和公转的装置以及使用该装置的抛光板操作方法产生下列效果。首先，抛光板(或，轴)可同时自转和公转。其次，通过允许抛光板(或，轴)同时自转和公转，可提高玻璃基板的抛光率。附图说明本专利技术的其他目的和方面将从下面參照附图对实施方案的描述中变得明了，在所述附图中图I是示出一个常规的玻璃基板抛光设备的侧视图；图2是示出根据本专利技术的一个优选实施方案用于使抛光板自转和公转的装置的立体图；图3是示出图2的装置中使用的公转单元的立体图；图4是示出图2的装置中使用的圆柱体构件和轴的竖向截面图；图5是示出图2的装置中使用的自转单元的立体图。<參考标记> 20:圆柱体构件21 :公转马达22、23、24:齿轮 25 :中空部26 :外周缘齿轮50 -M51 :轴齿轮60 :环齿轮61:内部齿轮62 :外部齿轮70:自转马达71、72、73、74、75 :齿轮100 :用于使抛光板自转和公转的装置G:玻璃基板d:偏心距离具体实施例方式在下文，将參照附图详细描述本专利技术的优选实施方案。在描述之前，应理解在说明书和随附权利要求中使用的术语不应理解为限制于通常含义和字典含义，而是应根据允许专利技术人为最佳解释合适限定术语的原则，基于对应于本专利技术的技术方面的含义和概念被解释。因此，本文给出的描述只是仅为示例目的的优选示例，不意在限制本专利技术的范围，因此应理解在不偏离本专利技术的主g和范围的情况下，可对本专利技术做出其他等同替换和修改。图2是示出根据本专利技术的一个优选实施方案用于使抛光板自转和公转的装置的立体图。參照图2，装置100包括用于使轴50公转的公转单元和用于使轴50自转的自转单J Li ο同时，轴50连接至一个抛光板8 (參见图I)(图2中未示出)。从而，在本专利技术中，如果轴50自转，抛光板8也自转。另外，如果轴50公转，抛光板8也公转。此外，如果轴50同时自转和公转，抛光板8也同时自转和公转。因此，在本专利技术中，轴50的自转代表了抛光板8的自转,轴50的公转代表了抛光板8的公转。公转单元包括一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于使抛光板自转和公转的装置，包括：一个圆柱体构件（20），具有沿长度方向形成的一个中空部以及具有形成在外周缘的一个外周缘齿轮（26）；一个轴（50），沿长度方向安装在所述中空部中并且由圆柱体构件（20）支承以能够在偏离所述圆柱体构件（20）的中心的位置自转，一个轴齿轮（51）安装至所述轴（50）的外周缘，所述轴（50）连接至一个抛光板；以及一个环齿轮（60），具有一个内部齿轮（61）和一个外部齿轮（62），所述内部齿轮（61）形成在该环齿轮的内周缘，所述外部齿轮（62）形成在该环齿轮的外周缘，所述内部齿轮（61）被安装为与所述轴齿轮（51）啮合，其中，在将一个驱动力传送至所述圆柱体构件（20）以使得所述圆柱体构件（20）自转的情况下，所述轴（50）借助于偏心性在所述中空部内公转，所述公转是在所述轴齿轮（51）与所述内部齿轮（61）啮合的状态下进行的。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：马久镐，朴炳奎，郑昱，李大渊，宋在翊，
申请(专利权)人：株式会社LG化学，
类型：发明
国别省市：