【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于使抛光板自转(rotation)和公转(revolution)的装置以及ー种使用该装置的抛光板操作方法，更具体地，涉及ー种用于使抛光板自转和公转的装置以及ー种使用该装置的抛光板操作方法，所述装置和方法可通过允许抛光板自转和公转来提高玻璃基板的抛光率。
技术介绍
通常，非常重要的是使应用于液晶显示器的玻璃基板保持其平面度(flatness)在某一水平，从而准确地呈现图像。因此，存在于玻璃基板的表面的细微的不均匀或起伏应通过抛光エ艺去除。玻璃基板的抛光エ艺可分为将单独的玻璃基板逐个抛光的所谓“操作顺序控制阵列(Oscar)”法和连续抛光一系列玻璃基板的所谓“排队(inline)”法。抛光エ艺还可分为仅对玻璃基板的ー个表面抛光的“单面抛光”和对玻璃基板的两个表面都抛光的“双面抛V, ”JU O參照图1，其示意性示出一个常规的玻璃基板抛光设备，在玻璃基板G通过托架4保持在下部板2上的状态中，抛光设备10将ー个上部板(或抛光板)8——其中抛光垫6安装至该上部板(抛光板)——带至与所述玻璃基板G接触，并同时在转动所述抛光板8时在抛光板8和玻璃基板G之间...
【技术保护点】
一种用于使抛光板自转和公转的装置，包括：一个圆柱体构件（20），具有沿长度方向形成的一个中空部以及具有形成在外周缘的一个外周缘齿轮（26）；一个轴（50），沿长度方向安装在所述中空部中并且由圆柱体构件（20）支承以能够在偏离所述圆柱体构件（20）的中心的位置自转，一个轴齿轮（51）安装至所述轴（50）的外周缘，所述轴（50）连接至一个抛光板；以及一个环齿轮（60），具有一个内部齿轮（61）和一个外部齿轮（62），所述内部齿轮（61）形成在该环齿轮的内周缘，所述外部齿轮（62）形成在该环齿轮的外周缘，所述内部齿轮（61）被安装为与所述轴齿轮（51）啮合，其中，在将一个驱动力传...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：马久镐，朴炳奎，郑昱，李大渊，宋在翊，
申请(专利权)人：株式会社LG化学，
类型：发明
国别省市：
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