下载抛光板自转和公转的装置及使用该装置的抛光板操作方法的技术资料

文档序号:8100259

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一种用于使抛光板自转和公转的装置,其可提高玻璃基板的抛光率,因为抛光板可同时自转和公转。...
该专利属于株式会社LG化学所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社LG化学授权不得商用。

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