太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶制造技术

技术编号:7963167 阅读:315 留言:0更新日期:2012-11-09 06:38
本实用新型专利技术涉及一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶,它包括源瓶本体(1),所述源瓶本体(1)顶部设有药液灌装口(2),所述源瓶本体(1)顶部还插设有气体进气管(3)和气体出气管(4),所述气体进气管(3)的下端插至源瓶本体(1)底部,所述气体出气管(4)的下端插设至源瓶本体(1)中部,其特征在于所述源瓶本体(1)、气体进气管(3)和气体出气管(4)均采用ETPE或FEP材料制成,所述气体进气管(3)的底端向上设有开孔段(5),所述开孔段(5)上设有多个圆形小孔。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种扩散源瓶,尤其涉及一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶,属于光电

技术介绍
晶体硅电池技术已成功应用与商业化生产,极大推动了人类享受清洁能源的进程。晶体硅电池的PN结为其工作的核心,当光照射在该PN结上时,会发生所谓光生伏打效应,产生光生电动势及光生电流供给与负载。发射电极的设计对于提高晶体硅电池的效率具有重要意义,诸如采用激光辅助、磷墨印刷等形成选择性发射性电极是一种有效设计。成熟的管式扩散炉,提供的扩散方案是气体携带源气,源气在高温下发生化学反应,继而形成晶体硅电池的核心PN结。如在P型硅片上进行磷扩散,一般采用的是氮气携带三氯氧磷带入管式炉管,在高温下三氯氧磷与氧气发生化学反应形成磷原子,该磷原子在高温下先后经历了替代扩散、间隙扩散等在硅片表面形成了具有一定梯度分布的N型层,继而形成了 PN结。液态的三氯氧磷一般放置于石英材质的源瓶中,其进气管为石英材质的中空管。这种材质的源瓶在灌装和搬运操作时容易发生裂痕及炸裂,中空的石英进气管也不能充分利用三氯氧磷。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述不足,提供一种灌装及搬运操作时不容易发生裂痕及炸裂,且可以提高三氯氧磷利用率的太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶。本技术的目的是这样实现的一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶,它包括源瓶本体,所述源瓶本体顶部设有药液灌装口,所述源瓶本体顶部还插设有气体进气管和气体出气管,所述气体进气管的下端插至源瓶本体底部,所述气体出气管的下端插设至源瓶本体中部,其特征在于所述源瓶本体、气体进气管和气体出气管均采用ETPE或FEP材料制成,所述气体进气管的底端向上设有开孔段,所述开孔段上设有多个圆形小孔;所述开孔段的长度为0. 5^3厘米。与现有技术相比,本技术的有益效果是本技术太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶的源瓶本体、气体进气管和气体出气管均均采用ETPE或FEP材料制成,使得灌装及搬运操作时不容易发生裂痕及炸裂,气体进气管的底端向上设有开孔段可以提高三氯氧磷利用率。附图说明图I为本技术太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶的结构示意图。其中源瓶本体I药液灌装口 2气体进气 管3气体出气管4开孔段5。具体实施方式参见图1,本技术涉及的一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶,它包括源瓶本体I,所述源瓶本体I顶部设有药液灌装口 2,所述源瓶本体I顶部还插设有气体进气管3和气体出气管4,所述气体进气管3和气体出气管4分别位于药液灌装口 2的两边,所述气体进气管3的下端插至源瓶本体I底部,所述气体出气管4的下端插设至源瓶本体I中部,所述源瓶本体I、气体进气管3和气体出气管4均采用ETPE(聚氟乙烯)或FEP(聚全氟乙丙稀共聚物)材料制成,所述气体进气管3的底端向上设有开孔段5,所述开孔段5上设有多个圆形小孔,所述开孔段5的长度为0. 5^3厘米。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶,它包括源瓶本体(1),所述源瓶本体(1)顶部设有药液灌装口(2),所述源瓶本体(1)顶部还插设有气体进气管(3)和气体出气管(4),所述气体进气管(3)的下端插至源瓶本体(1)底部,所述气体出气管(4)的下端插设至源瓶本体(1)中部,其特征在于所述源瓶本体(1)、气体进气管(3)和气体出气管(4)均采用ETPE或FEP材料制成,所述气体进气管(3)的底端向上设有开孔段(5),所述开孔段(5)上设有多个圆形小孔。

【技术特征摘要】
1.一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶,它包括源瓶本体(I),所述源瓶本体(I)顶部设有药液灌装口(2),所述源瓶本体(I)顶部还插设有气体进气管(3)和气体出气管(4),所述气体进气管(3)的下端插至源瓶本体(I)底部,所述气体出气管(4)的下端插设至源瓶本体(I)中部,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:宋令枝吴胜勇严玲崔东洋张涌
申请(专利权)人:苏州盛康光伏科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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