下载太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶的技术资料

文档序号:7963167

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本实用新型涉及一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶,它包括源瓶本体(1),所述源瓶本体(1)顶部设有药液灌装口(2),所述源瓶本体(1)顶部还插设有气体进气管(3)和气体出气管(4),所述气体进气管(3)的下端插至源瓶本体(1)底部,所述气体出气...
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