玻璃板检查装置及玻璃板检查方法制造方法及图纸

技术编号:7934842 阅读:163 留言:0更新日期:2012-11-01 03:39
提供一种能够检测依次加工的多个玻璃板的共同的位置产生的缺陷的玻璃板检查装置。线性照明(2)对玻璃板(10)照射光。而且,线性相机(3)拍摄由输送辊(1)输送的玻璃板。运算装置(4)每当线性相机(3)进行一张玻璃板的拍摄时,基于包含该玻璃板在内的最近的规定张数玻璃板的拍摄图像,判定该规定张数的玻璃板中的、定为比该规定张数少的第二规定张数以上的玻璃板是否在共同的位置产生缺陷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
提出有各种检测玻璃板内的缺陷的方法。例如,在专利文献I中记载有使玻璃板移动的同时使光向玻璃板入射,通过该入射光及反射光检测缺陷的缺陷检测方法。而且,在专利文献I所记载的缺陷检测方法中,通过根据入射光检测出的缺陷和根据反射光检测出的缺陷,而求出缺陷的高度。此时,在专利文献I记载的缺陷检测方法中,根据图像中的缺陷的中心坐标,在基板移动方向的检索区域内进行检索,检索出与该缺陷大致相同尺寸或同样的尺寸的图案,而判定根据入射光检测出的缺陷和根据反射光检测出的缺陷。 另外,通常在检测缺陷时,利用相机(例如线性相机)拍摄玻璃板整面的图像,根据该图像检测缺陷。作为该图像的形态,有暗视场图像和明视场图像。附图说明图15是表示暗视场图像的例子的说明图。暗视场图像是以暗色表示不符合缺陷的区域91,并以比不符合缺陷的区域91明亮的颜色表示符合缺陷的区域92的图像。图16是表示明视场图像的例子的说明图。明视场图像是以明亮的颜色表示不符合缺陷的区域91,并以比不符合缺陷的区域91更明亮的颜色或比区域91暗的颜色表示符合缺陷的区域92的图像。在图16中,例示了以比区域91暗的颜色表示符合缺陷的区域92的情况。通过拍摄得到的图像是成为暗视场图像还是成为明视场图像依赖于对玻璃板照射光的照明装置与相机的位置关系。当以使从照明装置照射而通过玻璃板(没有缺陷的玻璃板)的光不向相机入射的方式配置照明装置及相机时,得到暗视场图像。并且,通过因缺陷而散射的光入射到相机,符合缺陷的明亮的区域92(参照图15)显现在暗视场图像内。另外,当以使从照明装置照射而通过玻璃板(没有缺陷的玻璃板)的光向相机入射的方式配置照明装置及相机时,得到明视场图像。并且,例如由于缺陷的存在,光发生散射而光不入射到相机时等,符合缺陷的暗的区域92(参照图16)出现在明视场图像内。无论是在暗视场图像中还是在明视场图像中,都能够通过图像内的像素的亮度差来判定玻璃板是否存在缺陷。专利文献I :日本特开2010-8177号公报作为根据通过相机(下面,以线性相机的情况为例进行说明)拍摄到的玻璃板的图像来判定缺陷的方法,考虑有如下的方法。在该方法中,参照拍摄到的图像中的各像素的亮度值,判定有可能符合应检测缺陷的区域(缺陷候补),计算该区域中的亮度积分值。并且,基于亮度积分值对缺陷候补的尺寸进行分类。而且,基于拍摄到的图像,对玻璃板内的高度方向的位置(以下,记为缺陷的高度)进行分类。预先确定与缺陷候补的尺寸及缺陷候补的高度相应的分数,并参照与基于亮度积分值而分类的缺陷候补的尺寸和分类的缺陷候补的高度相应的分数,若其值为阈值以上,则检测作为缺陷。在上述的缺陷检测方法中,与预先确定的缺陷候补的尺寸及缺陷候补的高度相应的分数的例子如表I所示。权利要求1.一种玻璃板检查装置,其特征在于,具备 按照加工的顺序依次输送玻璃板的输送单元; 对所述玻璃板照射光的光照射单元; 拍摄由所述输送单元输送的玻璃板的拍摄单元;及 运算单元,每当所述拍摄单元进行一张玻璃板的拍摄时,基于包含该玻璃板在内的最近的规定张数玻璃板的拍摄图像,判定所述规定张数的玻璃板中的、定为比所述规定张数少的第二规定张数以上的玻璃板是否在共同的位置产生缺陷。2.根据权利要求I所述的玻璃板检查装置,其中, 运算单元从每个玻璃板的拍摄图像检测出亮度值满足预先确定的条件的像素排列的区域,并使用属于该区域的像素的亮度值来计算出缺陷候补的评价值,以该缺陷候补的评价值为根据要检测的缺陷的尺寸而预先确定的阈值以上为条件,判定该区域为符合缺陷候补的区域, 通过判定最近的规定张数的玻璃板的拍摄图像中的第二规定张数以上的玻璃板的拍摄图像中符合缺陷候补的区域是否共同,来判定最近的规定张数的玻璃板中的第二规定张数以上的玻璃板是否在共同的位置产生缺陷。3.根据权利要求I所述的玻璃板检查装置,其中, 运算单元在判定为最近的规定张数玻璃板中的第二规定张数以上的玻璃板在共同的位置产生缺陷时,输出警报。4.一种玻璃板检查方法,其特征在于, 按加工的顺序依次输送玻璃板, 对所述玻璃板照射光, 拍摄输送的所述玻璃板, 每当进行一张玻璃板的拍摄时,基于包含该玻璃板在内的最近的规定张数的玻璃板的拍摄图像,判定所述规定张数的玻璃板中的、定为比所述规定张数少的第二规定张数以上的玻璃板是否在共同的位置产生缺陷。5.根据权利要求4所述的玻璃板检查方法,其中, 从每个玻璃板的拍摄图像检测出亮度值满足预先确定的条件的像素排列的区域,并使用属于该区域的像素的亮度值来计算出缺陷候补的评价值,以该缺陷候补的评价值为根据要检测的缺陷的尺寸而预先确定的阈值以上为条件,判定该区域为符合缺陷候补的区域, 通过判定最近的规定张数的玻璃板的拍摄图像中的第二规定张数以上的玻璃板的拍摄图像中符合缺陷候补的区域是否共同,来判定最近的规定张数的玻璃板中的第二规定张数以上的玻璃板是否在共同的位置产生缺陷。6.根据权利要求4所述的玻璃板检查方法,其中, 在判定为最近的规定张数的玻璃板中的第二规定张数以上的玻璃板在共同的位置产生缺陷时,输出警报。全文摘要提供一种能够检测依次加工的多个玻璃板的共同的位置产生的缺陷的玻璃板检查装置。线性照明(2)对玻璃板(10)照射光。而且,线性相机(3)拍摄由输送辊(1)输送的玻璃板。运算装置(4)每当线性相机(3)进行一张玻璃板的拍摄时,基于包含该玻璃板在内的最近的规定张数玻璃板的拍摄图像,判定该规定张数的玻璃板中的、定为比该规定张数少的第二规定张数以上的玻璃板是否在共同的位置产生缺陷。文档编号G01N21/958GK102759534SQ20111011486公开日2012年10月31日 申请日期2011年4月29日 优先权日2011年4月29日专利技术者加藤宗寿, 有田祐介, 河内辰朗, 金子静则 申请人:旭硝子株式会社本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃板检查装置,其特征在于,具备:按照加工的顺序依次输送玻璃板的输送单元;对所述玻璃板照射光的光照射单元;拍摄由所述输送单元输送的玻璃板的拍摄单元;及运算单元,每当所述拍摄单元进行一张玻璃板的拍摄时,基于包含该玻璃板在内的最近的规定张数玻璃板的拍摄图像,判定所述规定张数的玻璃板中的、定为比所述规定张数少的第二规定张数以上的玻璃板是否在共同的位置产生缺陷。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:有田祐介河内辰朗加藤宗寿金子静则
申请(专利权)人:旭硝子株式会社
类型:发明
国别省市:

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