一种降低物品搬运时产生尘粒的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种降低物品搬运时产生尘粒的装置，通过在搬运装置上设置除尘装置，从而达到减少搬运物品途中产生的地面扬尘对洁净度的破坏，更有对地面积尘的去除作用，进一步提高洁净度的目的。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体集成电路及其制造领域，尤其涉及一种降低物品搬运时产生尘粒的装置。
技术介绍
现今半导体芯片制造业中，随着工艺的提高，对环境的洁净度要求也越来越高。目前，对物品的净化工艺都是在净化间中进行的，净化间是通过从上至下的对流风达到对环境净化的目的，但是在净化间的地板上不可避免的会留有积尘，当人员走动或用推车搬运物品时会产生扬尘，破坏周围的洁净度。现在对积尘的清扫通常是通过定期派遣清洁人员进入净化间,进行人工清扫,这种清扫方法不仅增加人力物力成本,还不能做到随时持续的 清扫，另外人本身就是发尘源，在进行人工清扫时，增加人员本身对环境会产生污染，破坏洁净度。
技术实现思路
本技术公开了一种降低物品搬运时产生尘粒的装置，其中，在搬运装置上设置一除尘装置；所述除尘装置在搬运装置搬运物品时进行对搬运装置经过的地面进行除尘。上述的降低物品搬运时产生尘粒的装置，其中，所述搬运装置为推车，该推车包括固定设置在推车主体上的防滑落护栏，搬运物品时，物品放置在防滑落护栏中，以避免物品在搬运过程中滑落。上述的降低物品搬运时产生尘粒的装置，其中，所述除尘装置为滚筒式粘尘装置，包括粘尘滚筒、支架和控制杆，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种降低物品搬运时产生尘粒的装置，其特征在于，在搬运装置上设置一除尘装置；所述除尘装置在搬运装置搬运物品时进行对搬运装置经过的地面进行除尘。

【技术特征摘要】
1.一种降低物品搬运时产生尘粒的装置，其特征在于，在搬运装置上设置一除尘装置； 所述除尘装置在搬运装置搬运物品时进行对搬运装置经过的地面进行除尘。2.根据权利要求I所述的降低物品搬运时产生尘粒的装置，其特征在于，所述搬运装置为推车，该推车包括固定设置在推车主体上的防滑落护栏，搬运物品时，物品放置在防滑落护栏中，以避免物品在搬运过程中滑落。3.根据权利要求I或2所述的降低物品搬运...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴韫青，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：