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本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种降低物品搬运时产生尘粒的装置，通过在搬运装置上设置除尘装置，从而达到减少搬运物品途中产生的地面扬尘对洁净度的破坏，更有对地面积尘的去除作用，进一步提高洁净度的目的。...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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