【技术实现步骤摘要】
本技术属光学检测
，涉及ー种灰尘位置的测试装置，尤其涉及ー种在光学系统中所用的光学元件表面灰尘位置测试装置。
技术介绍
神光III主机装置长时间的运行，光学元件表面偶尔会落有灰尘，灰尘会引起强激光在传输过程中的对比度増大，甚至会引起光学元件膜层烧毀，改变激光光场分布，使打 靶的能量下降，危害极大。在打靶前，一般由激光參数測量模块中的近场CCD监视传输光路的激光光场分布，若有灰尘落入光学元件表面，该监视系统可监视灰尘引起了激光光场变化，但不能确定灰尘的具体。要对灰尘擦拭，必须定位灰尘的位置。由于神光III主机装置中光学元件口径大、数量多，灰尘位置的准确定位十分重要。传统测试方法神光III主机装置中，由激光參数测量模块中的近场(XD监视传输光路的激光光场分布，如果发现有灰尘引起激光光场分布变化，由现场维护人员凭经验从光路中的光学元件擦拭排查，擦拭吋，经常引入新的污染，尤其是在某些真空光路中，擦拭更加困难。该方法耗时耗力，效率低下。
技术实现思路
为了解决
技术介绍
中存在的上述问题，本技术提出了ー种定位准确、工作效率高以及自动化程度高的光学元件表面灰尘位置测试装置。本技术的技术解决方案是本技术提供了ー种光学元件表面灰尘位置测试装置，其特殊之处在于所述测试装置包括激光器、光学元件、取样镜单元、以及测试单元；所述激光器、取样单元以及测试单元设置在同一光路上。上述测试单元包括用于调整CXD监视面与待测光学元件之间距离的变焦镜头以及与变焦镜头组合在一起的CCD ;所述激光器、取样单元以及变焦镜头设置在同一光路上。上述取样单元是取样镜或取样镜组。上述光学元件表面灰尘位置测试...
【技术保护点】
一种光学元件表面灰尘位置测试装置，其特征在于：所述测试装置包括激光器、取样单元以及测试单元；所述激光器、取样单元以及测试单元设置在同一光路上。
【技术特征摘要】
1.一种光学元件表面灰尘位置测试装置，其特征在于所述测试装置包括激光器、取样单元以及测试单元；所述激光器、取样单元以及测试单元设置在同一光路上。2.根据权利要求I所述的光学元件表面灰尘位置测试装置，其特征在于所述测试单元包括用于调整CCD监视面与待测光学元件之间距离的变焦镜头以及与变焦镜头组合在一起...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈永权，李坤，段亚轩，赵建科，赛建刚，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：
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