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本实用新型涉及一种光学元件表面灰尘位置测试装置，该测试装置包括激光器、取样单元以及测试单元；激光器、取样单元以及测试单元设置在同一光路上。本实用新型提供了一种具有定位准确，工作效率高，自动化程度高，使用方便的光学元件表面灰尘位置测试装置。...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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