【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空装置，在一制程中能同时完成湿式洗涤、干式洗涤、真空加热干燥及真空冷冻干燥多种功能，并能回收干式洗涤的低压气体及洗涤液等废溶液的多用途封闭式洗涤、真空干燥的方法及其装置。洗净制程常利用化学药品清洗工件物表面的残留物质(例如微粒、氧化物及金属不纯物，油膜)，因蒸发而外泄的有害物质易发生火灾爆炸，造成重大损失，亦会影响作业人员的健康。因此密闭式的洗净系统有减少化学溶液的用量，减少纯水的用量，减少废气、废水的排放等优点。习知的密闭式洗净，是将洗净液通入密闭的洗净容器中，洗净容器的辅助设备将工件物表面的污染物去除，当在洗净完成后，将洗净液排出容器，并将被洗净的工件物取出，送入另一工作平台中进行干燥处理。另，习知的干式洗净以真空系统将容器内的空气抽出形成真空，再通入气体与工件物作氧化还原的化学作用，经由抽气排出同时以纯水洗濯，使工件物的表面成为非常洁净、无微粒及自然氧化层的表面。但真空系统的利用，将使得成本相当的可观。又习知真空加热干燥方法，以真空泵将工作槽抽取成适当的真空后，再施以低温加热，使被干燥物内的水份及挥发性物质蒸发为水蒸气并用真空泵抽离达到...
【技术保护点】
一种具多用途密闭式洗净、真空干燥的方法，其特征是：该方法结合密闭式的湿式洗净、干式洗净、真空加热干燥、及真空冷冻干燥的功能於同一制程而不使用真空系统，并能回收干式洗净使用的低压气体及回收洗净液等废溶液的方法，是提供洗净、真空干燥的装置或串连式多槽洗净、真空干燥的装置，该装置为排液真空的装置、排液真空的装置所产生的真空容器、蒸发或升华洗净液的控热装置、凝结蒸气的排热装置、及连结导管等辅助装置组合而成的装置，利用排液真空的装置，以低溶解空气的洗净液及排液真空法使洗净容器内不充满洗净液的体积成为含有非常少量的空气压力及该洗净液的蒸气压力的真空洗净容器，使空气压力对制程方法的影响降...
【技术特征摘要】
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