下载具多用途密闭式洗净、真空干燥的方法及其装置的技术资料

文档序号:786501

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一种具多用途密闭式洗净、真空干燥的方法,是以洗净、真空干燥的装置,使用低溶解空气的洗净液及排液真空法使洗净容器产生真空,使空气压力对制程方法的影响降至最低,并利用一般液体的沸点随压力下降而降低、及液体饱和蒸气压力随温度下降而降低并造成压力差...
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