有机电激发光显示器载具与基板的清洗方法技术

一种有机电激发光显示器载具与基板的清洗方法，其清洗流程为：先以纯水喷洒于载具或基板上并进行刷洗动作，以去除基板或载具上较大颗粒的污染物及氢氧化钾溶液；再将载具或基板浸渍于数种交替溶剂中，并以超声波加速震荡该载具或基板，移除剩余较小颗粒的污染物及氢氧化钾溶液；再将该载具或基板以特定方位设置于一蒸气浴槽中，该蒸气浴槽中的溶剂以特定功率加热形成蒸气状，借由蒸气状的溶剂中含有极少的污染物，获得极为洁净的蒸气溶剂，再将此蒸气溶剂以特定方式导流至载具或基板的待洗面，以确实移除该载具或基板表面所残留的微尘颗粒及污染物；最后再对载具或基板表面进行吹干、烘烤及改质作业，借以得到极为洁净的有机电激发光显示器载具与基板。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种有机电激发光显示器载具与基板的清洗方法，其特征在于该方法包括如下步骤：ａ）将纯水喷洒于载具（Ｔ）与基板（Ｔ１）上并进行刷洗动作，以去除载具（Ｔ）与基板（Ｔ１）上较大颗粒的污染物及氢氧化钾溶液；ｂ）将载具（Ｔ）与基板（Ｔ１ ）浸渍于多种交替溶剂中，并以适当频率的超声波加速震荡该载具（Ｔ）与基板（Ｔ１），以去除剩余较小颗粒的污染物及氢氧化钾溶液；ｃ）利用一特定功率将清洗溶剂加热形成蒸气状，借由蒸气状的溶剂中含有极少的污染物，因此可获得极为洁净的蒸气溶剂， 再将此蒸气溶剂以特定方式导流至载具（Ｔ）与基板（Ｔ１）的待洗面，借以清除该载具（Ｔ）与基板（Ｔ１）表面所残留的微尘颗粒及污染物；ｄ）对载具（Ｔ）与基板（Ｔ１）表面进行吹干、烘烤。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张书文，林桂雪，
申请(专利权)人：胜园科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]