【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机械生产设备
,具体涉及一种真空室大门锁定装置。
技术介绍
目前,在真空生产工艺中,特别是真空镀膜生产中,真空室普遍采用单轴旋转式门结构,通过门体与门框之间的配合挤压密封条的形式进行密封。由于真空门体与门框之间容易存在锁紧力不足,从而导致密封条挤压贴合不良而产生泄露的现象,严重影响抽真空效率以及生产效果。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的不足,提供一种锁紧力强,装置整体结构简单,易于安装调整,锁紧密封效果显著的一种真空室大门锁定装置。本技术的目的通过以下技术方案实现一种真空室大门锁定装置,包括机体、机体大门,其特征在于所述机体上铰接有气缸;所述机体大门上设有门扣支座;该门扣支座上铰接有门扣压板;所述门扣压板一端与气缸推杆铰接,另一端设有设有压紧件,所述压紧件与机体大门相互扣合压紧。所述压紧件为滚动轴承。本技术的有益效果在于能有效对真空室大门进行锁紧,锁紧力强,装置整体结构简单,易于安装调整,锁紧密封效果显著。附图说明利用附图对本技术作进一步说明,但附图中的实施例不构成对本技术的任何限制。图I是本技术示意图。图2是本技术锁紧状态示意图。在图I、图2中包括I、机体,2、气缸,3、门扣压板,4、门扣支座,5、压紧件,6、机体大门。具体实施方式下面结合实施例对本技术作详细说明。图I、图2中,机体I上铰接有气缸2 ;所述机体大门6上设有门扣支座4 ;该门扣支座2上铰接有门扣压板3 ;所述门扣压板3 —端与气缸2推杆铰接,另一端设有设有压紧件5,所述压紧件5与机体大门6相互扣合压紧。所述压紧件5为滚动轴承。真空室机体大门闭合完成后,控制压力气体 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空室大门锁定装置,包括机体(I)、机体大门(6),其特征在于所述机体(I)上铰接有气缸(2);所述机体大门(6)上设有门扣支座(4);该门扣支座(2)上铰接有门扣压板(3);所述门扣...
【专利技术属性】
技术研发人员:潘振强,
申请(专利权)人:肇庆市振华真空机械有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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