清洗方法及清洗装置制造方法及图纸

技术编号:786131 阅读:125 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
通过用液化气体或超临界流体清洗介质清洗具有凹部构造的部件来提高清洗效果。在去除附着在具有凹部构造的部件(31)的至少上述凹部构造表面的附着物的清洗方法中,使用超临界气体或液化气体使清洗介质不遍布在上述凹部构造表面来进行清洗。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种清洗方法,在去除附着在具有凹部构造的部件(27、28、29、30、32)的至少上述凹部构造表面的附着物(26)的清洗方法中,通过把附着有上述附着物的上述部件放入清洗槽(1),向上述清洗槽内通入清洗介质,使上述部件处于上述清洗介质气氛中,改变上述清洗介质的温度、压力,对上述清洗介质进行液体状态与气体状态交替的状态变化,使清洗介质遍布在上述凹部构造表面来进行清洗。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:入江庸介森田清之铃木正明足立明久桥本雅彦
申请(专利权)人:松下电器产业株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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