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清洗方法及清洗装置制造方法及图纸
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下载清洗方法及清洗装置的技术资料
文档序号:786131
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通过用液化气体或超临界流体清洗介质清洗具有凹部构造的部件来提高清洗效果。在去除附着在具有凹部构造的部件(31)的至少上述凹部构造表面的附着物的清洗方法中,使用超临界气体或液化气体使清洗介质不遍布在上述凹部构造表面来进行清洗。...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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