一种清洁圆盘形玻璃基片的方法，该方法包括使所述圆盘形玻璃基片绕其中心旋转，并且其主表面处于垂直状态，以及使被超声波辐照过的清洁液沿所述旋转的玻璃基片的外缘表面流下。
【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种清洁圆盘形玻璃基片的方法，该方法包括：使所述圆盘形玻璃基片绕其中心旋转，并且其主表面处于垂直状态，以及使被超声波辐照过的清洁液沿所述旋转的玻璃基片的外缘表面流下。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：宮原修，万波和夫，染谷邦之，丸山勉，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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