利用相容化学品的基板刷子擦洗和接近清洗干燥程序、接近基板制备程序和实施前述程序的方法、设备和系统技术方案

一种用于清洗和干燥基板的正面和背面的方法。该方法包括使用擦洗流体化学品擦洗基板的背面。该方法还包括一旦完成背面的擦洗之后，就在基板的正面上施加正面弯液面。该正面弯液面含有正面清洗化学品，而正面清洗化学品与该擦洗液体化学品呈化学性相容。还提供了一种基板的表面的制备方法，该方法包括使用弯液面扫掠基板的表面，使用弯液面制备基板的表面和在未进行冲洗操作的情况下，在已制备的基板的表面上进行下一个制备操作。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于清洗和干燥基板的正面和背面的方法，该方法包括：使用擦洗流体化学品擦洗基板的背面；及一旦完成背面的擦洗之后，就在基板的正面上施加正面弯液面，该正面弯液面含有正面清洗化学品，该正面清洗化学品与该擦洗液体化学品呈化学性相容。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M拉金，JM德拉里奥斯，M科罗里克，MGR史密斯，C伍德斯，
申请(专利权)人：兰姆研究有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]