【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种快速检测装置,具体的说是一种平板显示器用基板污染物及缺陷快速检测装置。
技术介绍
OLED(Organic Light Emitting Display),即有机电致发光显示器,是一种通过载流子注入和复合导致有机材料发光的显示器件。与其他平板显示器相比,OLED具有成本低、全固态、主动发光、亮度高、对比度高、视角宽、响应速度快、厚度薄、低电压直流驱动、功耗低、工作温度范围宽、可现实柔性显示等特点,因此有人称它为“梦幻显示器”。OLED制程的前段工序中包括光刻、蒸镀、封装等过程。其中作为第一道主工序的光刻工序尤为重要,通常光刻工序的洁净度必须要达到100 1000级洁净度要求(涂布区 域)。主要原因是光刻过程中外界所带来的污染源会给产品带来致命的不良。因此在生产过程中为保证进入下一道工序的产品未被污染,专门建立管控点,对加工后产品的表面进行检查。在普通光源光下人的眼睛能够看到的污染物质及缺陷非常有限,因此通常会应用到一些检查装置。在平板显示器制造行业检查基板的污染物及缺陷时通常会用到带有特殊照明的检查装置。此类装置相对于高倍率的放大镜检查台价格便宜、 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.平板显示器用基板污染物及缺陷快速检查装置,包括支架(I)、检查平台(2)和顶板(3),所述顶板(3)设置在支架(I)顶端,所述检查平台(2)设置在顶板(3)的下方,其特征在于,还包括光源(4),所述光源(4)设置在顶板(3)的下方。2.根据权利要求I所述的平板显示器用基板污染物及缺陷快速检查装置,其特征在于,所述光源(4)为长条形。3.根据权利要求I所述的平板显示器用基板污染物及缺陷快速检查装置,其特征在于,还包括光源控制箱(8),所述光源控制箱(8)设置在检查平台(2)的下方。4.根据权利要求3所述的平板显示器用基...
【专利技术属性】
技术研发人员:张光浩,朴正勋,潘剑白,任海,
申请(专利权)人:四川虹视显示技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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