基板搬送装置、基板搬送方法、曝光装置及元件制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术基板搬出装置(70)藉由使基板载台(20)上装载的已完成曝光的基板(P)在装载于被收容在基板保持具(50)内的基板托盘(90)上的状态下，移动于与水平面平行的单轴方向(X轴方向)据以从基板保持具(50)搬出。相对于此，基板搬入装置(80)则系在将待搬入基板载台(20)的未曝光基板(P)装载于另一基板托盘(90)上的状态下使其在基板更换位置待机，待完成曝光的基板(P)从基板载台(20)搬出后，使该另一基板托盘(90)降下据以将未曝光的基板(P)装载于基板保持具(50)上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术系关于基板搬送装置、基板搬送方法、基板支承构件、基板保持装置、曝光装置、曝光方法及元件制造方法，详言之，系关于进行将基板搬入及搬出基板保持装置的基板搬送装置及基板搬送方法、以及在基板搬送时支承该基板的基板支承构件、具有保持被搬送的基板的保持构件的基板保持装置、包含前述基板搬送装置或前述基板保持装置的曝光装置、使用基板支承构件搬送基板的曝光方法及使用前述曝光方法或曝光装置的元件制造方法。
技术介绍
一直以来，于制造液晶显示元件、半导体元件(积体电路等)等电子元件(微元件)的微影制程，主要系使用步进重复(step & repeat)方式的投影曝光装置(所谓的步进 机)或步进扫描(step & scan)方式的投影曝光装置(所谓的扫描步进机(亦称扫描机))坐寸o此种投影曝光装置，系将作为曝光对象物的表面涂有感光剂的玻璃板、或晶圆等基板(以下，统称为基板)装载于基板载台装置的基板保持具上，以例如真空吸附等方式保持于基板保持具。并透过包含投影透镜等的光学系对该基板照射能量束，据以转印形成于光罩(或标线片)的电路图案。当结束对一片基板的曝光处理时，即将该完成曝光的基板以基板搬送装置从基板保持具上搬出，并于该基板保持具上装载另一基板。曝光装置藉由反复进行此种基板保持具上的基板更换，据以对多片基板连续进行曝光处理(例如，参照专利文献I)。此处,为提升对多片基板连续进行曝光处理时的整体的处理能力(throughput),除提升曝光及对准处理的处理能力(处理时间的短缩)外，缩短基板的更换时间(周期时间)(以短时间进行基板的更换)是非常有效的。因此，皆期望能有可迅速进行基板载台装置上的基板更换的系统(或装置)的开发。先行技术文献[专利文献I]美国专利第6，559，928号
技术实现思路
本专利技术第I态样提供一种基板搬送装置，具备搬入装置，系藉由在第I路径上搬送基板据以搬入既定基板保持装置；以及搬出装置，系藉由在与该第I路径不同的第2路径上搬送被保持于该基板保持装置的该基板，据以从该基板保持装置搬出。根据此装置，基板往基板保持装置的搬入系以搬入装置在第I路径上进行，而基板从基板保持装置的搬出则以搬出装置在与第I路径不同的第2路径上进行。因此，可平行进行基板的搬入与搬出(例如，在基板的搬出时使搬入对象的另一基板于第I路径上待机等)，能缩短更换基板保持装置上的基板时所需的周期时间。本专利技术第2态样提供一第I曝光装置，其具备本专利技术的基板搬送装置；以及图案形成装置，系使用能量束使装载于该基板保持装置上的该基板曝光，据以在该基板形成既定图案。本专利技术第3态样提供一第2曝光装置，具备基板保持装置，其包含具有与水平面平行的保持面的保持构件，于该保持面上装载基板；搬入装置，系藉由在第I路径上搬送基板据以将基板搬入该基板保持装置；搬出装置，系藉由在与该第I路径不同的第2路径上搬送被保持于该基板保持装置的该基板，据以从该基板保持装置搬出；以及曝光系，系以能量束使被保持于该基板保持装置上的该基板曝光。 根据上述第I、第2曝光装置，由于能缩短更换基板保持装置上的基板时所需的周期时间，其结果能提升处理能力。本专利技术第4态样提供一基板搬送方法，其包含藉由在第I路径上搬送基板据以将其搬入既定基板保持装置的动作；以及藉由在与该第I路径不同的第2路径上搬送该基板，据以将该基板从该基板保持装置搬出的动作。根据此方法，基板往基板保持装置的搬入系在第I路径上进行，而基板从基板保持装置的搬出则在与第I路径不同的第2路径上进行。因此，可平行进行基板的搬入与搬出(例如，在基板的搬出时使搬入对象的另一基板于第I路径上待机等)，能缩短更换基板保持装置上的基板时所需的周期时间。本专利技术第5态样提供一基板支承构件，其包含支承部，系由延伸于与水平面平行的第I方向且在该水平面内与该第I方向正交的第2方向以既定间隔设置的多支棒状构件构成，从下方支承基板；以及卡合部，连接于该支承部、可与既定搬送装置卡合；此基板支承构件被该搬送装置与该基板一起被搬送至具有与该水平面平行的基板装载面的基板保持装置，该支承部的至少一部分被收容在形成于该基板装载面的槽部内且相对该基板保持装置移动于该第I方向的一侧，据以和该基板一起从该槽部内脱离。根据此构件，以延伸于第I方向的多支棒状构件构成的支承部从下方支承基板的基板支承构件，系以搬送装置搬送至基板保持装置。基板支承构件的支承部的至少一部分被收容在基板保持装置的槽部内，于基板的搬出时，在该至少一部分被收容于槽部内的状态下相对基板保持装置移动于与第I轴平行的方向(构成支承部的多支棒状构件的延伸方向)。因此，能迅速的进行基板的搬出。本专利技术第6态样提供一基板保持装置，其包含具有与水平面平行的保持面、于该保持面上装载基板的保持构件；于该保持构件形成有多个槽部，此多个槽部能收容从下方支承该基板的基板支承构件的一部分，藉由该基板支承构件往与该水平面平行的第I方向一侧的相对移动而容许该基板支承构件的该一部分的脱离。根据此装置，从下方支承基板的基板支承构件，其一部分被收容在形成于保持构件的多个槽部内。因此，能与将基板支承构件被收容于槽部内的动作连动，将基板传送至保持面上。又，基板支承构件可藉由相对保持构件往第I方向一侧的移动，使收容在槽部内的前述一部分从槽部脱离。因此，能從保持構件迅速的搬出基板。本专利技术第7态样提供一第3曝光装置，其具备本专利技术的基板保持装置；以及图案形成装置，系使用能量束使装载于该基板保持装置上的该基板曝光，据以在该基板形成既定 图案。本专利技术第8态样提供一第4曝光装置，具备基板保持装置，包含具有与水平面平行的保持面、于该保持面上装载基板的保持构件，于该保持构件形成有多个槽部；以及曝光系，系以能量束使该基板保持装置上所保持的该基板曝光；该槽部能收容从下方支承该基板的基板支承构件的一部分，藉由该基板支承构件往与该水平面平行的第I方向一侧的相对移动而容许该基板支承构件的该一部分的脱离。根据上述第3、第4曝光装置，能与将基板支承构件收容至槽部内的动作连动将基板交至保持面上，又，基板支承构件可藉由相对保持构件往第I方向一侧的移动，从保持构件迅速的搬出基板。因此，能缩短更换基板保持装置上的基板时所需的周期时间，其结果能提升处理能力。本专利技术第9态样提供一曝光方法，系以能量束使保持于基板保持装置上的基板曝 光，其包含将基板以装载于基板支承构件上的状态加以搬送，据以搬入该基板保持装置的动作；以及将保持于该基板保持装置的该基板在装载于基板支承构件上的状态加以搬送，据以从该基板保持装置搬出的动作；在该基板往该基板保持装置的搬入及该基板从该基板保持装置的搬出的至少一方中，抑制或防止该基板的位置相对用于该基板搬送的该基板支承构件的位移。本专利技术第10态样提供一第5曝光装置，具备基板保持装置，用以装载基板；搬入装置，将基板以装载于基板支承构件上的状态加以搬送，据以搬入该基板保持装置；搬出装置，将保持于该基板保持装置的该基板在装载于基板支承构件上的状态加以搬送，据以从该基板保持装置搬出；以及曝光系，系以能量束使保持在该基板保持装置上的该基板曝光；在该基板往该基板保持装置的搬入及该基板从该基板保持装置的搬出的至少一方中，抑制或防止该基板的位置相对用于该基板搬送的该基本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.11.27 US 61/272,978;2009.11.27 US 61/272,979;1.ー种基板搬送装置，具备 搬入装置，藉由在第I路径上搬送基板据以搬入既定基板保持装置；以及 搬出装置，藉由在与该第I路径不同的第2路径上搬送被保持于该基板保持装置的该基板，据以从该基板保持装置搬出。2.如权利要求I所述的基板搬送装置，其中，该搬入装置使该基板从该基板保持装置上方降下，据以搬入该基板保持装置； 该搬出装置系使该基板相对该基板保持装置移动于与水平面平行的单轴方向的ー侧，据以从该基板保持装置搬出。3.如权利要求I或2所述的基板搬送装置，其中，该基板在装载于既定基板支承构件上的状态，被该搬入装置及该搬出装置搬送。4.如权利要求3所述的基板搬送装置，其中，该搬入装置及该搬出装置的至少一方，包含保持该基板支承构件的该单轴方向的一端侧的第I保持构件、与保持该基板支承构件的另一端侧的第2保持构件； 该第I保持构件与该第2保持构件彼此连结，以共通的致动器加以驱动。5.如权利要求3或4所述的基板搬送装置，其中，该基板在与该基板支承构件一起被该搬出装置从该基板保持装置搬出后，该基板支承构件上即装载另一基板； 该搬入装置将装载有该另一基板的该基板支承构件搬送至该基板保持装置。6.如权利要求3至5中任一项所述的基板搬送装置，其进ー步具备该基板保持装置； 该基板保持装置包含具有与水平面平行的保持面的保持构件，于该保持面上装载基板。7.如权利要求6所述的基板搬送装置，其中，该搬入装置将该基板支承构件插入形成在该基板保持装置的该保持面的槽部内，据以将该基板从该基板支承构件上换成装载于该基板保持装置上。8.如权利要求6或7所述的基板搬送装置，其中，该基板支承构件具有由延伸干与水平面平行的第I方向、且于该水平面内在与该第I方向正交的第2方向以既定间隔设置的多个棒状构件构成并且将该基板从下方加以支承的支承部，该支承部被收容在形成于该保持面的槽部内。9.如权利要求8所述的基板搬送装置，其中，该基板支承构件进一歩具有将该多个棒状构件的长边方向一端彼此加以连接的连接部。10.如权利要求8或9所述的基板搬送装置，其中，该搬入装置与该基板支承构件插入该槽部内的动作连动，将该基板从该基板支承构件上交至该基板保持装置上。11.如权利要求10所述的基板搬送装置，其中，该基板支承构件在该基板装载于该基板保持装置的该保持面上的状态，与该基板下面分离。12.如权利要求8至11中任一项所述的基板搬送装置，其中，该支承部包含支承该基板的该第2方向ー侧区域的第I支承部、与支承该基板的该第2方向另ー侧区域的第2支承部; 该搬入装置及该搬出装置的至少一方藉由控制该第I及第2支承部的该第I方向位置，据以控制该基板绕与该水平面垂直的轴的位置。13.如权利要求8至12中任一项所述的基板搬送装置，其中，该基板支承构件进一歩具有防止被支承于该支承部的该基板脱落的脱落防止构件。14.如权利要求13所述的基板搬送装置，其中，该脱落防止构件由从该棒状构件往上方突出的多个突起状构件所构成。15.如权利要求8至14中任一项所述的基板搬送装置，其中，该支承部具有吸附保持该基板的吸附部。16.如权利要求8至15中任一项所述的基板搬送装置，其中，至少于该支承部施有抑制光反射的表面处理。17.如权利要求8至16中任一项所述的基板搬送装置，其中，至少于该支承部施有抑制释气发生的表面处理。18.如权利要求8至17中任一项所述的基板搬送装置，其中，该基板支承构件在彼此相邻的该棒状构件长边方向中间部，进ー步具备架设在该棒状构件上端部间的补强构件。19.如权利要求18所述的基板搬送装置，其中，该补强构件被收容在形成于该基板保持装置的该保持面的凹部内。20.如权利要求8至19中任一项所述的基板搬送装置，其中，该基板支承构件进一歩具备在与该水平面平行移动时，使铅直方向向下的升力作用于该支承部的空カ构件。21.如权利要求8至20中任一项所述的基板搬送装置，其中，于该基板支承构件中，从外部装置将该基板交至该支承部上的基板转接构件可插入彼此相邻的该棒状构件之间。22.如权利要求8至21中任一项所述的基板搬送装置，其中，该搬出装置在该基板支承构件的至少一部分被收容在该槽部内的状态下，藉由使该基板支承构件相对该基板保持装置移动，据以将该基板从该基板保持装置搬出。23.如权利要求22所述的基板搬送装置，其中，该基板保持装置具有从下方支承收容在该槽部内的该基板支承构件，使该基板支承构件往上方移动据以使该基板离开该保持面的升降装置； 该搬出装置使被该升降装置支承的该基板支承构件相对该基板保持装置移动。24.如权利要求23所述的基板搬送装置，其中，该升降装置具有将该基板支承构件引导至该第2路径上的引导部。25.如权利要求23或24所述的基板搬送装置，其中，该升降装置设于该保持构件。26.如权利要求23或24所述的基板搬送装置，其中，该基板保持装置具有配置在该保持构件下方、将该保持构件以既定行程引导于至少与该水平面平行的方向的载台装置； 该升降装置设于该载台装置。27.如权利要求26所述的基板搬送装置，其中，于该保持构件形成有贯通于铅直方向的贯通孔； 该升降装置的一部分插通于该贯通孔内。28.如权利要求6至27中任一项所述的基板搬送装置，其具备多个该基板支承构件； 以该搬出装置将搬出对象的该基板与该基板支承构件一起从该基板保持装置搬出吋，该搬入装置则使支承搬入对象的该基板的另ー该基板支承构件位于该基板保持装置的上方。29.一种曝光装置，具备权利要求6至28项中任一项所述的基板搬送装置；以及图案形成装置，使用能量束使装载于该基板保持装置上的该基板曝光，据以在该基板形成既定图案。30.一种曝光装置,具备 基板保持装置，其包含具有与水平面平行的保持面的保持构件，于该保持面上装载基板； 搬入装置，藉由在第I路径上搬送基板据以将基板搬入该基板保持装置； 搬出装置，藉由在与该第I路径不同的第2路径上搬送被保持于该基板保持装置的该基板，据以从该基板保持装置搬出；以及 曝光系，以能量束使被保持于该基板保持装置上的该基板曝光。31.如权利要求30所述的曝光装置，其中，该搬入装置系使该基板从该基板保持装置上方降下据以搬入该基板保持装置； 该搬出装置使该基板相对该基板保持装置移动于与水平面平行的单轴方向的ー侧，据以从该基板保持装置搬出。32.如权利要求30或31所述的曝光装置，其中，该基板在装载于既定基板支承构件上的状态被该搬入装置及该搬出装置搬送。33.如权利要求32所述的曝光装置，其中，在该基板和该基板支承构件一起被该搬出装置从该基板保持装置搬出后，于该基板支承构件上装载另一基板； 该搬入装置将装载有该另一基板的该基板支承构件搬送至该基板保持装置。34.如权利要求32或33所述的曝光装置，其中，该搬入装置藉由将该基板支承构件插入形成在该基板保持装置的该保持面的槽部内，据以将该基板从该基板支承构件上装载至该基板保持装置上。35.如权利要求29至34中任一项所述的曝光装置，其中，该基板系用于平板显示器装置。36.如权利要求29至35中任一项所述的曝光装置，其中，该基板的至少ー边的长度为500mm以上。37.一种元件制造方法，其包含 使用权利要求29至36中任一项所述的曝光装置使该基板曝光的动作；以及 使曝光后的该基板显影的动作。38.ー种基板搬送方法,其包含 藉由在第I路径上搬送基板据以将其搬入既定基板保持装置的动作；以及藉由在与该第I路径不同的第2路径上搬送该基板，据以将该基板从该基板保持装置搬出的动作。39.如权利要求38所述的基板搬送方法，其中，该搬入动作藉由向下搬送该基板据以搬入至该基板保持装置上； 该搬出动作使该基板移动于与水平面平行的单轴方向据以从该基板保持装置搬出。40.如权利要求39所述的基板搬送方法，其进ー步包含将基板装载于既定基板支承构件上的动作； 该搬入动作藉由将该基板支承构件插入形成于该基板保持装置的基板保持面的槽部，据以将该基板从该基板支承构件装载至该基板保持装置上。41.如权利要求40所述的基板搬送方法，其中，该搬出动作在该基板支承构件的至少一部分被收容在该槽部内的状态下，移动该基板支承构件以将该基板从该基板保持装置搬出。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木保夫，关忠，柳川卓也，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：