涂层方法和用于衬底动态定位的部件操纵器及其使用技术

本发明专利技术涉及涂层方法和用于衬底动态定位的部件操纵器及其使用。具体地，提供了一种用于对在热处理工艺中要处理的衬底(2)进行动态定位的部件操纵器(1)，其中该部件操纵器(1)包括可绕主旋转轴线(3)旋转的主驱动轴(30)、连接元件(4)和可连接至连接元件(4)的衬底保持器(5)。根据本发明专利技术，连接元件(4)是陶瓷连接元件(4)，并且衬底保持器(5)的连接段(51)可借助于插塞旋转连接相对于该插塞旋转连接的连接轴线(V)以抗拉且旋转固定的方式连接至连接元件(4)，并且衬底保持器(5)布置成可绕连接轴线(V)旋转。本发明专利技术还涉及涂层方法、涉及涂层设备、以及涉及对部件操纵器(1)的使用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于在热处理工艺中对将要处理的衬底进行动态定位的部件操纵器，还涉及一种供部件操纵器使用的涂层方法，以及涉及借助于根据相应类目的独立权利要求的前序部分的热涂层方法对衬底进行涂层的部件操纵器使用。
技术介绍
对各种工件的表面的涂层具有几乎数不清的应用，并且对应地在工业技术中具有高的经济重要性。在这方面，可因为非常不一样的原因来有利地将涂层涂覆在极其不同的衬底上。例如，在强机械负载的零部件上(诸如举例来说，在内燃发动机或压缩机的气缸或活塞环的工作表面上)的磨损保护层就起到了重要作用。除了耐磨性之外，还有其他的需求(例如，良好的滑动特性)，这意味着将良好的摩擦特性或者同样极好的干碾特性都置于这样的零部件上。特别地，不同的热喷涂方法(尤其是已知的等离子喷涂方法)已经被证明对于这样的以及类似的需求是非常成功的。特别地，为了在高负载工具上生成硬层，在诸如铣床、钻头等的去毛刺工具上通过电弧汽化、PVD或CVD工艺非常成功地制造了涂层。然而具体地，上述工艺的使用同样还非常广泛地分布在其他应用领域中，例如，用于珠宝或表壳的涂层，或者用于保护层的应用，或者简单地用于器具的装饰。此外，其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.03.17 EP 11158579.01.一种用于在热处理工艺中对要处理的衬底(2)进行动态定位的部件操纵器，其中所述部件操纵器包括能够绕主旋转轴线(3)旋转的主驱动轴(30)、连接元件(4)和能够连接至所述连接元件(4)的衬底保持器(5)，其特征在于，所述连接元件(4)为陶瓷连接元件(4)，所述衬底保持器(5)的连接段(51)借助于插塞旋转连接相对于所述插塞旋转连接的连接轴线(V)能够以抗拉且旋转固定的方式连接至所述连接元件(4)，并且所述衬底保持器(5)布置成能够绕所述连接轴线(V)旋转。2.根据权利要求I所述的部件操纵器，其中提供了基板(6)，所述基板(6)旋转固定地连接至所述主驱动轴(30)，用于接纳带有所述衬底保持器(5)的所述连接元件(4)。3.根据权利要求2所述的部件操纵器，其中所述基板(6)经由用于供应冷却流体(KF)的连接元件(32)旋转固定地连接至所述主驱动轴(3)。4.根据权利要求I或2所述的部件操纵器，其中多个连接元件(4)相对于所述主旋转轴线(3)偏心地设置在所述基板(6)处，用于接纳多个衬底保持器(5)。5.根据权利要求I至4中任一项所述的部件操纵器，其中所述连接元件(4)经由驱动单元(7)与接触元件(8)操作地连接，用于所述衬底保持器(5)的旋转。6.根据权利要求5所述的部件操纵器，其中所述主驱动轴(30)关于所述接触元件(8)可旋转地布置。7.根据权利要求5或6中任一项所述的部件操纵器，其中所述接触元件(8)是布置在相对于所述主驱动轴(30)固定的轴护套(31)处的齿轮，其是有齿的，用来借助于所述驱动单元(X)驱动所述连接元件(4)。8.根据前述权利要求中任一项所述的部件操纵器，其中所述插塞旋转连接的所述连接轴线(V)相对于所述主旋转轴线(3)以能够预先限定的倾斜角(α)倾斜。9.根据权利要求3至8中任一项所述的部件操纵器，其中所述冷却流体(KF)经由冷却管线(KL)和布置在所述基板(6)上的冷却分配器(9)能够供应至所述连接元件(4)，并且能够供应至所述衬底保持器(5)的所述连接段(51)。10.根据前述权利要求中任一项所述的部件操纵器，其中所述连接元件(4)通过轴承元件(42)支撑在轴承壳(41)中，其中在所述轴承壳(41)中优选提供了形成三点支承的三个轴承元件(42)，并且其中能够借助于与所述冷却流体(KF)的间接接触来冷却所述轴承元件(42) ο11.根据前述权利要求中任一项所述的部件操纵器，其中借助于防旋转安全件(10)来紧固所述连接元...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·米勒，
申请(专利权)人：苏舍美特科公司，
类型：发明
国别省市：