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本发明涉及涂层方法和用于衬底动态定位的部件操纵器及其使用。具体地，提供了一种用于对在热处理工艺中要处理的衬底(2)进行动态定位的部件操纵器(1)，其中该部件操纵器(1)包括可绕主旋转轴线(3)旋转的主驱动轴(30)、连接元件(4)和可连接至...
该专利属于苏舍美特科公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏舍美特科公司授权不得商用。

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