太阳能电池单元的制造方法技术

一种太阳能电池单元的制造方法，包括在半导体基板（1）的一个主面上涂布含有金属氧化物和金属氧化物前体中的至少一者的防反射膜形成用溶液（5a）的工序、和对涂布有防反射膜形成用溶液（5a）的半导体基板（1）进行加热的工序，在涂布防反射膜形成用溶液（5a）的工序中，防反射膜形成用溶液（5a）在水含量为0g/m3～9.4g/m3的环境下涂布。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。
技术介绍
近年来，特别从地球环境问题的观点考虑，将太阳光能直接转换成电能的太阳能电池单元作为下一代能源的期待急剧地增多起来。作为太阳能电池单元，有采用化合物半导体或者有机材料的电池单元等各种各样的种类，但现在主流的是采用硅晶体作为半导体基板的电池单元。对于太阳能电池单元，利用pn接合分离由对半导体基板射入光而在半导体基板内部生成的电子和空穴，由此取得电流。在这样的太阳能电池单元中，通过使对半导体基板射入的光的反射率降低，能够使光电转换效率提高，因此进行在半导体基板的一个主面形成防反射膜。例如，在专利文献I (日本特开昭53-146995号公报)中公开了通过将原钛酸正丁酯、乙酸以及乙醇混合而制成的涂布体组合物涂布在硅基板上并在空气中加热，由此在硅基板上形成由氧化钛薄膜构成的防反射膜的技术。另外，在专利文献2 (日本特开昭54-76629号公报)中公开以下技术将乙醇、五氧化磷、钛酸异丙酯以及乙酸混合制成的涂布体组合物涂布在硅基板上并在大气中加热，由此在硅基板上形成含有磷作为杂质的氧化钛薄膜，之后，在氮环境中加热，由此使来自氧化钛薄膜的磷在硅基板上扩散，从而在硅基板上形本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.12.28 JP 2009-2974791.一种太阳能电池单元的制造方法，包括在半导体基板(I)的一个主面上涂布含有金属氧化物和金属氧化物前体中的至少一者的防反射膜形成用溶液(5a)的工序、以及对涂布有所述防反射膜形成用溶液(5a)的所述半导体基板(I)进行加热的工序，在涂布所述防反射膜形成用溶液(5a)的工序中，所述防反射膜形成用溶液(5a)在水含量为Og/m3 9. 4g/m3的环境下涂布。2.根据权利要求I所述的太阳能电池单元的制造方法，其中，所述防反射膜形成用溶液(5a)含有用于在所述半导体基板(I)上形成pn接合的掺杂剂。3.根据权利要求I或2所述的太阳能电池单元的制造方法，其中，所述防反射膜形成用溶液(5a)含有...

【专利技术属性】
技术研发人员：桥本敬宏，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：