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太阳能电池单元的制造方法技术
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文档序号:7791432
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一种太阳能电池单元的制造方法,包括在半导体基板(1)的一个主面上涂布含有金属氧化物和金属氧化物前体中的至少一者的防反射膜形成用溶液(5a)的工序、和对涂布有防反射膜形成用溶液(5a)的半导体基板(1)进行加热的工序,在涂布防反射膜形成用溶液...
该专利属于夏普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社授权不得商用。
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