低成本、批量化微棱镜模具的设计方法技术

低成本、批量化微棱镜模具的设计方法，涉及微流控芯片领域，解决现有加工棱镜模具采用的机械加工方法，使棱镜表面粗糙度大，且加工成本高，不便于批量化生产的问题，本发明专利技术利用表面光洁的硅片，结合光刻、ICP等MEMS技术，加工出所需角度棱镜左侧面、右侧面、斜面以及后直面等不同面的微小硅片，并且在左侧面和右侧面上刻有角度微型沟槽、竖直微型沟槽与角度标示孔，通过微型沟槽将各个硅片斜面和模具硅片后直面简单地拼接组装，实现微小型棱镜模具的制作，本发明专利技术所述的方法使用简单、成本低，易于批量化生产；本发明专利技术所述方法还可以应用于其他需要棱镜等相关领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微流控芯片领域，适用于通过微小型棱镜耦合实现微流控芯片内生物化学试剂的光探测方面。
技术介绍
目前，制作微流控芯片的材料主要有聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和环烯烃共聚物(COC)等聚合物，由于PDMS透明无毒廉价、耐用具有一定的惰性、成型制作简单、生物兼容性较好等突出特点，一般情况下微流控芯片为PDMS芯片。微流控芯片的最终目的是实现反应试剂的检测分析，分析检测方法包括光学检测、电化学检测、化学发光检测等。光学检测法由于具有灵敏度高、响应速度快、操作简便等优点成为目前最广泛 的一种检测方法，其中又包括吸光度检测、激光诱导荧光检测等。利用吸光度检测时入射光耦合进入探测池内的方式主要包括棱镜耦合和光栅耦合两种方式，采用棱镜耦合时，为便于后续芯片集成，棱镜材料也选择PDMS，但是由于微流控芯片的操作体积较小，因此所需的棱镜也应该为微小型棱镜，制作微小型准确控制角度和具有很低粗糙度的棱镜较为困难。在通过棱镜耦合方式进行探测时，微小型棱镜的形状尺寸要求高，为满足光学要求需要使得棱镜表面粗糙度Ra〈0. 8um。一般情况下，棱镜制作需要通过模铸的方法，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴一辉，周文超，张平，刘永顺，刘桂根，李凯伟，郝鹏，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：