一种光学测量装置和光学测量方法，用于测量透明基板。所述光学测量装置包括多个线型探测器，多个线型探测器沿平行于透明基板的第一方向延伸，分别用于对透明基板厚度方向上的不同位置进行成像和探测；多个线型探测器与透明基板能沿平行于透明基板的第二方向相对运动，第二方向与第一方向不平行，以完成对透明基板的扫描；多个数据获取器，与多个线型探测器一一对应，用于获取线型探测器探测到的数据，形成与时间相关的探测数据；多个数据转换器，分别与多个数据获取器相连，通过分析与时间相关的探测数据，获得透明基板厚度方向上的不同位置所对应待测面的缺陷信息。相应地，本发明专利技术还提供一种光学测量方法，本发明专利技术可以提高测量精度。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学仪器
，尤其涉及ー种光学測量装置和光学測量方法。
技术介绍
玻璃具有透明、強度高、不透气的特点，在日常环境中呈化学惰性，也不会与生物起作用，因此用途非常广泛。常见的玻璃包括汽车玻璃、平板玻璃、保温玻璃等。在玻璃制造过程中，难免会在玻璃内部或玻璃表面形成诸如划伤、污点、颗粒等的缺陷。如何能检查出玻璃内部或玻璃表面的上述缺陷成为本领域技术人员亟待解决的问题之一。 现有技术的测量装置中通常采用自动光学检测系统(Automatic OpticalInspection, A0I)检测玻璃内部所有的缺陷，但是现有技术的测量装置无法区分所述缺陷是位于玻璃内部还是位于玻璃表面。从而无法获得更准确的缺陷信息，进而无法有针对性地改善玻璃制造エ艺，以避免玻璃表面缺陷的产生。更多关于测量玻璃缺陷的光学測量装置的技术方案可參考公告号为CN101652625B的中国专利，所述中国专利公开的技术方案也未能解决上述技术问题。
技术实现思路
本专利技术解决的技术问题是提供ー种光学測量装置和光学測量方法，通过测量透明基板不同待测面的缺陷信息提高测量精度。为了解决上述问题，本专利技术提供ー种光学測量装置，用于测量透明基板，包括多个线型探測器，所述多个线型探測器沿平行于透明基板的第一方向延伸，分别用于对透明基板厚度方向上的不同位置进行成像和探測；所述多个线型探測器与透明基板能沿平行于透明基板的第二方向相对运动，所述第二方向与第一方向不平行，以完成对所述透明基板的扫描；多个数据获取器，与所述多个线型探測器一一对应，用于获取线型探測器探測到的数据，形成与时间相关的探测数据；多个数据转换器，分别与所述多个数据获取器相连，通过分析所述与时间相关的探测数据，获得透明基板厚度方向上的不同位置所对应待测面的缺陷信息。可选地，所述多个线型探測器具有相同的焦距。可选地，所述第二方向与所述第一方向相垂直。可选地，所述数据获取器用于按照预设时间间隔获取线型探測器探測到的数据，形成与时间相关的探測数据。 可选地，所述多个线型探測器沿所述第二方向并列排布在一起。可选地，所述多个线型探測器集成于ー时间延迟积分探测单元。可选地，所述时间延迟积分探测单元为时间延迟积分CMOS相机或时间延迟积分CCD相机。可选地，所述时间延迟积分探测单元的探測面与透明基板相对面的夹角大于0°且小于90°。可选地，所述光学測量装置还包括照明単元，所述照明単元位于透明基板未设置有线型探測器的ー侧，用于照亮透明基板。可选地，所述照明单元为面光源，所述面光源均匀照亮的区域至少大于所述透明基板的面积。可选地，所述照明单元为沿平行于透明基板的第一方向延伸的条形光源，所述条形光源与所述多个线型探測器的位置相对应。可选地，所述多个线型探測器中位于端部位置处的线型探測器分别用于对透明基 板的两个表面进行成像和探測。可选地，还包括与所述透明基板固定连接的扫描单元，用于使所述透明基板沿与第一方向垂直的第二方向移动。可选地，还包括与所述多个线型探測器固定连接的扫描单元，用于使所述多个线型探測器沿第二方向移动。可选地，还包括与所述多个线性探測器和条形光源固定连接的扫描单元，用于使所述多个线型探測器和条形光源同步地、沿第二方向移动。可选地，所述数据获取器为时序控制电路。相应地，本专利技术还提供ー种光学測量方法，包括提供透明基板；提供多个线型探测器，使所述多个线型探測器沿平行于透明基板的第一方向延伸，对透明基板厚度方向上的不同位置进行成像和探測；使所述多个线型探測器与透明基板沿平行于透明基板的第二方向相对运动，所述第二方向与第一方向不平行；分别获取各线型探測器探測到的数据，形成与时间相关的探测数据；通过分析所述与时间相关的探测数据，获得透明基板厚度方向上的不同位置所对应待测面的缺陷信息。可选地，所述提供多个线型探測器的步骤包括提供多个具有相同焦距的线型探测器。可选地，使所述第二方向与所述第一方向垂直。可选地，所述分别获取各线型探測器探測到的数据的步骤中，按照预设时间间隔获取各线型探測器探測到的数据。可选地，所述提供多个线型探測器的步骤还包括使所述多个线型探測器沿所述第二方向并列排布在一起。可选地，所述提供多个线型探測器的步骤包括提供一时间延迟积分探测单元，所述多个线型探測器集成于所述时间延迟积分探测单元。可选地，所述提供一时间延迟积分探测单元的步骤包括提供时间延迟积分CMOS相机或时间延迟积分CCD相机。可选地，所述提供时间延迟积分探测单元的步骤包括使所述时间延迟积分探測単元的探測面与透明基板的夹角大于0且小于90°。可选地，在提供多个线型探測器的步骤之后，使多个线型探測器与透明基板相对运动的步骤之前，还包括提供照明単元，使所述照明単元位于透明基板未设置有线型探測器的ー侧，以照亮透明基板。可选地，所述提供照明単元的方法包括提供面光源，使所述面光源均匀照亮的区域至少大于所述透明基板的面积。可选地，所述提供照明単元的方法包括提供沿平行于透明基板的第一方向延伸的条形光源，使所述条形光源与所述多个线型探測器的位置相对应。可选地，提供多个线型探測器，对透明基板厚度方向上的不同位置进行成像和探测的步骤包括使所述多个线型探測器中位 于端部位置处的线型探测器对透明基板的两个表面进行成像和探測。可选地，使所述多个线型探測器与透明基板相对运动的步骤包括使所述多个线型探測器的位置固定，使所述透明基板沿平行于透明基板的第二方向移动。可选地，使所述多个线型探測器与透明基板相对运动的步骤包括使所述透明基板的位置固定，使所述多个线型探測器沿平行于透明基板的第二方向移动。可选地，分别获取各线型探測器探測到的数据，形成与时间相关的探測数据的步骤包括通过时序控制电路按预设时间间隔获取各线型探測器探測到的数据，形成与时间相关的探測数据。与现有技术相比，本专利技术具有以下优点I.光学測量装置中设置有分别对透明基板不同待测面进行扫描的多个线型探測器，在扫描过程中，所述数据获取器可以获得与不同待测面相对应的与时间相关的探測数据，所述数据转换器基于所述与时间相关的探測数据结合考虑线型探測器与透明基板相对运动的情况，可以获得透明基板各待测面不同位置处的缺陷信息，本专利技术光学測量装置可以测得透明基板不同待测面的缺陷信息，提高了測量精度。2.可选方案中，所述多个线型探測器中位于端部位置处的线型探測器分别用于对透明基板的两个表面进行成像和探測，一方面，可将透明基板表面作为位置參考面，从而便于计算不同待测面的位置；另ー方面，充分利用每个线型探测器进行探測，可以提高測量精度。3.可选方案中，还设置有照明単元，用于照亮透明基板，可以提高多个线型探測器探測到的信号強度，以提高測量准确度。附图说明图I是本专利技术光学測量装置一实施例的示意图；图2是本专利技术光学測量装置另ー实施例的示意图；图3是本专利技术光学測量方法ー实施方式的流程示意图。具体实施例方式在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似推广，因此本专利技术不受下面公开的具体实施的限制。其次，本专利技术利用示意图进行详细描述，在详述本专利技术实施例时，为便于说明，所述示意图只是实例，其在此不应限制本专利技术保护的范围。为了解决本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.ー种光学測量装置，用于测量透明基板，其特征在于，包括 多个线型探測器，所述多个线型探測器沿平行于透明基板的第一方向延伸，分别用于对透明基板厚度方向上的不同位置进行成像和探測； 所述多个线型探測器与透明基板能沿平行于透明基板的第二方向相对运动，所述第二方向与第一方向不平行，以完成对所述透明基板的扫描； 多个数据获取器，与所述多个线型探測器一一对应，用于获取线型探測器探測到的数据，形成与时间相关的探测数据； 多个数据转换器，分别与所述多个数据获取器相连，通过分析所述与时间相关的探測数据，获得透明基板厚度方向上的不同位置所对应待测面的缺陷信息。2.如权利要求I所述的光学測量装置，其特征在于，所述多个线型探測器具有相同的焦距。3.如权利要求I所述的光学測量装置，其特征在于，所述第二方向与所述第一方向相垂直。4.如权利要求I所述的光学測量装置，其特征在于，所述数据获取器用于按照预设时间间隔获取线型探測器探測到的数据，形成与时间相关的探测数据。5.如权利要求I所述的光学測量装置，其特征在于，所述多个线型探測器沿所述第二方向并列排布在一起。6.如权利要求I所述的光学測量装置，其特征在于，所述多个线型探測器集成于ー时间延迟积分探测单元。7.如权利要求6所述的光学測量装置，其特征在于，所述时间延迟积分探测单元为时间延迟积分CMOS相机或时间延迟积分CXD相机。8.如权利要求6所述的光学測量装置，其特征在于，所述时间延迟积分探测单元的探测面与透明基板相对面的夹角大于0°且小于90°。9.如权利要求I所述的光学測量装置，其特征在于，所述光学測量装置还包括照明单元，所述照明単元位于透明基板未设置有线型探測器的ー侧，用于照亮透明基板。10.如权利要求9所述的光学測量装置，其特征在于，所述照明单元为面光源，所述面光源均匀照亮的区域至少大于所述透明基板的面积。11.如权利要求9所述的光学測量装置，其特征在于，所述照明单元为沿平行于透明基板的第一方向延伸的条形光源，所述条形光源与所述多个线型探測器的位置相对应。12.如权利要求5或6所述的光学測量装置，其特征在于，所述多个线型探測器中位于端部位置处的线型探測器分别用于对透明基板的两个表面进行成像和探測。13.如权利要求I所述的光学測量装置，其特征在于，还包括与所述透明基板固定连接的扫描单元，用于使所述透明基板沿与第一方向垂直的第二方向移动。14.如权利要求I所述的光学測量装置，其特征在于，还包括与所述多个线型探測器固定连接的扫描单元，用于使所述多个线型探測器沿第二方向移动。15.如权利要求11所述的光学測量装置，其特征在于，还包括与所述多个线性探測器和条形光源固定连接的扫描单元，用于使所述多个线型探測器和条形光源同步地、沿第二方向移动。16.如权利要求4所述的光学測量装置，其特征在于，所述数据获取器为时序控制电路。17.—种光学测量方法,其特征在于,包括 提供透明基板； 提供多个线型探測器，使所述多个线型探測器沿平行于透明基板的第一方向延伸，对透明基板厚度方向上的不同位置进...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑媛，陈大志，
申请(专利权)人：法国圣戈班玻璃公司，
类型：发明
国别省市：
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