【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于将大量带电粒子小射束引导至图像平面的投射透镜组件。具体地讲，本专利技术涉及易于控制的健壮且紧凑的投射透镜组件。
技术介绍
美国专利6，946，662公开了用于将大量带电粒子小射束引导至图像平面上的透镜组件。该透镜组件包括多个电极，这些电极具有形成多个带电射束孔径的射束通过区。这些电极沿光路进行堆叠，其中，通过绝缘部件将这些电极进行隔离。在电极的边沿处，所述电极被夹持在一起以形成透镜组件。经由减小电子光学系统，由透镜组件提供的图像被减小并且投射到晶片上。该透镜组件用于校正后来当射束缩小时在投射路径上出现的射束象 差。在美国专利6，946，662中公开的系统的缺点在于为了提供所需的校正该透镜组件需要是复杂的。美国专利7，091, 504公开了一种电子束曝光设备,包括会聚电子光学系统,包括静电透镜的阵列，其中，每个透镜将对应的各个小射束直接会聚在晶片上并且截面小于300nm。由于这个系统不需要减小电子光学系统，所以能够避免由于这个减小电子光学系统导致的射束象差的影响。在美国专利7，091，504中公开的系统的缺点在于该电子光学系统需要被布置为更靠近目...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.10.09 NL 2003619;2009.10.09 US 61/250,3361.一种用于将大量带电粒子小射束引导至图像平面的投射透镜组件，所述投射透镜组件包括用于会聚大量带电粒子小射束中的一个或多个带电粒子小射束的第一电极和第二电极、包括用于允许所述大量带电粒子小射束通过的通孔的外壳， 所述第一和第二电极均包括用于使得所述大量带电粒子小射束中的一个或多个带电粒子小射束通过的、与所述通孔对齐的透镜孔阵列， 其特征在于 所述外壳包括周围壁并且具有上游远边和下游远边，以及 所述投射透镜组件还包括 至少一个支撑元件，包括用于使得大量带电粒子小射束通过的通孔，其中，所述至少一个支撑元件附连到外壳，以及 其中，第一电极和第二电极由所述至少一个支撑元件进行支撑，其中，第一和第二电极布置在由外壳的下游远边限定的平面内或附近。2.根据权利要求I的投射透镜组件，其中，第一电极和第二电极通过粘合剂连接的方式附连到支撑元件。3.根据权利要求I或2的投射透镜组件，其中，支撑元件由非导电材料构造。4.根据上述任何一个权利要求的投射透镜组件，包括所述一个或多个支撑元件中位于外壳的下游远边和上游远边之一或二者处的支撑元件。5.根据上述任何一个权利要求的投射透镜组件，其中，第二电极在下游方向形成投射透镜组件的远端。6.根据上述任何一个权利要求的投射透镜组件，其中，第一和第二电极分别布置在支撑元件的上游表面和下游表面上，第一电极与所述周围壁隔离，并且支撑元件桥接第一电极与周围壁之间的距离。7.根据权利要求6的投射透镜组件，其中，支撑元件的上游表面至少部分由连接到第一电极的第一导电涂层进行覆盖。8.根据权利要求6或7的投射透镜组件，其中，支撑元件的下游表面基本由连接到第二电极的第二导电涂层进行覆盖。9.根据权利要求8的投射透镜组件，其中，第二涂层从支撑元件的下游表面上的通孔，跨越支撑元件的外沿，径向延伸至支撑元件的上游表面的外围区域，并且第一涂层从支撑元件的上游表面上的通孔朝外径向延伸。10.根据上述任何一个权利要求的投射透镜组件，还包括定位在第一电极的上游的第三电极。11.根据权利要求10的投射透镜组件，其中，第三电极和第二电极均保持在基本恒定电势，并且其中，第一电极的电势适于带电粒子小射束的预定会聚。12.根据权利要求5到11的任何一个的投射透镜组件，其中，周围壁导电并且导电连接到第二涂层。13.根据上述任何一个权利要求的投射透镜组件，其中，通过固化粘合剂材料带，优选径向延伸的带，加强支撑元件的下游面对表面和/或上游面对表面。14.根据上述任何一个权利要求的投射透镜组件，其中，支撑元件还包括通孔周围处或附近的介电击穿保护结构。15.根据权利要求14的投射透镜组件，其中，所述介电击穿保护结构沿支撑元件的通孔的方向具有台阶式直径。16.根据上述任何一个权利要求的投射透镜组件，其中，支撑元件将第一电极和第二电极分开小于200微米。17.根据上述任何一个权利要求的投射透镜组件，其中，支撑元件、第一电极和第二电极基本是平的。18.根据上述任何一个权利要求的投射透镜组件，包括布置在电极的上游并且适于提供大量带电粒子小射束的扫描偏转的偏转器单元。19.根据上述任何一个权利要求的投射透镜组件，其中，至少一个支撑元件包括第一支撑元件、第二支撑元件和盖元件，它们各自具有用于大量带电粒子小射束的通孔，其中，所述盖元件布置在周围壁的上游远边，其中，第二支撑元件将盖元件与第一电极或第一支撑元件进行互连。20.根据权利要求18和19的投射透镜组件，其中，所述第二支撑元件包括所述偏转器单元。21.根据权利要求19或20的投射透镜组件，其中，盖元件包括盖元件的上游面对表面上的导电材料和与外壳的周围壁进行邻接的非导电材料。22.根据权利要求18到21的任何一个的投射透镜组件，还包括布置在偏转器单元与第二电极之间的射束停止器阵列。23.根据权利要求22的投射透镜组件，其中，射束停止器阵列与最上游电极通过导电隔离物进行隔开并且被导电连接。24.根据权利要求22或23的投射透镜组件，其中，偏转器单元适于将大量带电粒子小射束绕它们的关联的轴心点进行偏转，这些轴心点位于基本与射束停止器阵列相同的平面内。25.根据权利要求18到21的任何一个的投射透镜组件，包括布置在偏转器单元的上游的射束停止器阵列，所述偏转器单元适于将大量带电粒子小射束绕它们的关联的轴心点进行偏转，这些轴心点基本位于第一和第二电极之间的平面内。26.一种用于将大量带电粒子小射束引导至目标上的带电粒子射束平板印刷系统，所述系统包括根据上述任何一个权利要求的投射透镜组件。27.根据上述任何一个权利要求的投射透镜组件，其中，至少一个支撑元件包括盖元件，盖元件包括用于使得大量带电粒子小射束通过的通孔， 其中，外壳包括由上游边定义的上游开口端， 其中，盖元件适于基本覆盖外壳的上游开口端， 其中，第一和第二电极被包括在射束光学器件内，以及 其中，通过在盖元件的下游面对表面上施用的粘合剂体，由盖元件支撑射束光学器件。28.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：J·J·科宁，S·W·H·斯藤布林克，B·施普尔，
申请(专利权)人：迈普尔平版印刷IP有限公司，
类型：发明
国别省市：
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