一种狭缝模具，其通过一对相对的模唇的组合，在模唇之间具有模唇间隙和形成在该模唇间隙的下端的涂布液的吐出口，其特征在于，至少一方的模唇由沿着上下方向重合、并且可以沿着与所述吐出口的纵向成直角的方向相对移动的至少２个部件构成，进而，由以下各要件构成，即可调整这些部件的相对位置地与这些部件相配合的部件配合要件，在相对位置的调整后将这些部件相互连接的部件连结要件，安装在这些部件的与所述吐出口侧相反一侧的外面、规定部件的相对移动的位置的定位要件，以及，将所述定位要件固定在所述部件上的定位要件的固定要件。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及为了在基体材料表面形成涂膜而使用的狭缝模具(スリツトダイ)。本专利技术，涉及用该狭缝模具将涂布液涂布在基体材料表面，制造具有涂膜的基体材料的制造方法，以及制造装置。作为利用本专利技术形成涂膜的的基体材料的形态，有薄片形态，或者长条的片状形态。作为薄片形态的代表例，有玻璃基板。利用本专利技术制造的薄片形态的基体材料，例如，作为彩色液晶显示器用滤色片、TFT用阵列基板、等离子显示器用背面板和前面板、光学滤波器、印制电路板、集成电路、半导体而被使用。利用本专利技术制造的长条的片状形态的基体材料，例如，作为薄膜、金属片、金属箔、纸而被使用。
技术介绍
狭缝模具，有时也被称为模嘴(口金)、模具、开缝模具(スロツトダイ)、或者阴模(ダイス)。狭缝模具，被广泛应用于通过在相互间留有间隔地相对的一对模唇之间形成的模唇间隙，从作为模唇间隙的向外方开口的狭缝状的吐出口吐出涂布液，在与吐出口隔有间隔地相对配置的基体材料的表面上形成涂布液的涂膜。在涂膜的形成中，狭缝模具和基体材料相对地移动。作为一例，说明在玻璃基板上具有3原色的细格子图案的滤色片的状况。滤色片，通过在玻璃基板上顺次涂布黑、红、蓝、绿的涂布液而制造。该滤色片的制造工序，包括在形成光致抗蚀剂材料的涂膜后，在通过光刻加工进行图形加工之后，形成用于形成注入到滤色片和阵列基板之间的液晶的空间的柱的工序，和形成用于使表面的凹凸细小的覆层涂膜的工序。在这种涂膜形成工序中，使用的涂布液的粘度为数10mPa·s或其以下，为了可以很容易地形成均匀的涂膜，多使用旋转器(快速旋转工具)。但是，到了最近，削减高价的涂布液的消费的情况，和很难随着涂布的基板的大型化而将装置大型化的情况互起作用，代替旋转器，开始采用使用了狭缝模具的金属型涂料机。作为该狭缝模具所需要的重要的功能之一，是形成厚度均匀的涂膜。特别是，在适用于彩色液晶显示器用滤色片和等离子显示器用背面板等显示器用部件的制造的狭缝模具中，随着显示器的大画面化，每年构成零件的长条化也在发展，对于较大的涂布面积上的涂膜的厚度的均匀性的要求变得越来越严格。最近，要求实现相对于涂膜的平均厚度的最大偏差在3％或其以下这样极高的涂布厚度精度。为了满足该要求，在组装了模具时，通常，被设定为0.05mm至0.7mm的模唇间隙，必需用超微级的偏差均匀地形成。但是，用以往众所周知的狭缝模具，从其结构来看，不能达到超微级的模唇间隙精度，便不能达到上述的涂布厚度精度。具体地说明以往的狭缝模具的问题。在第11、12以及13图中，分别展示了不同的众所周知的狭缝模具201、301以及401的横剖面。在第11图中，狭缝模具201，具备模具漏斗205、右侧模唇202、以及左侧模唇203。右侧模唇202和左侧模唇203，隔着模唇间隙212相对地配置。右侧模唇202的上面和左侧模唇203的上面，分别与模具漏斗205的下面相接触，并且分别通过螺栓206、207被安装在模具漏斗205上，并被一体化。模唇间隙212，具有模唇间隙宽L。该狭缝模具201，在JP10-264229A中被公开。在具有该结构的狭缝模具201中，必须有一面沿着模唇间隙212的纵向(垂直于纸面的方向)测定模唇间隙宽L，一面将双方的模唇202、203相对于模具漏斗205定位这样烦杂的组装操作。只用该组装操作，达到超微级的模唇间隙精度，实际上是不可能的。在第12图中，狭缝模具301，具备右侧模唇302、左侧模唇303以及隔片(垫片)304。双方的模唇302、303，在介设有隔片304的状态下，由螺栓305结合在一起，被一体化。模唇间隙312，由隔片304的厚度St形成。模唇间隙312，具有模唇间隙宽L。该狭缝模具301，在JP2001-46949A、或者、JP2001-191004A中被公开。在具备该结构的狭缝模具301中，模唇间隙312的模唇间隙宽L，与组装方法无关，和隔片304的厚度St相等。因而，在实现超微级的模唇间隙精度时，对于厚度St是0.05至0.7mm左右的较薄隔片304，便要求超微级的厚度精度。但是，一般的，通过由轧制钢板制作的板材构成的隔片304，由于轧制不均，面内的厚度不均有时有数微米。进而，为了变薄，很难通过后续加工实现厚度精度的提高。因而，狭缝模具301的情况下，也不能实现超微级的模唇间隙精度。在第13图中，狭缝模具401，包括右侧模唇402和左侧模唇403。双方的模唇402、403，在各自的上方部，具有接合面。右侧模唇402的模唇内面420，位于距接合面415具有阶梯差L处。左侧模唇403的内面421，与接合面415在同一面内，形成平坦的模唇。在右侧模唇402的模唇内面420和左侧模唇403的内面421之间，形成有模唇间隙412。模唇间隙412，具有与前述阶梯差L相等的模唇间隙宽L。该狭缝模具401，在JP10-146556A、或者、JP10-151395A中被公开。在具有该结构的狭缝模具401中，由于模唇间隙412的模唇间隙宽L与设在模唇402上的阶梯差L相等，因此在实现超微级的模唇间隙精度时，模唇402的接合面415和模唇内面420之间的阶梯，必须用超微级的高精度的精加工形成。但是，在使用众所周知的磨床等的机械加工或由人工的研磨操作中，很难以超微级的精度精加工模唇这样长条并且大面积的大型零件。因而，用狭缝模具401，也不能实现超微级的模唇间隙精度。另一方面，作为采用了这些狭缝模具的金属型涂料机的一例，由可以往复移动的工作台和具有向下的吐出口的涂布头(狭缝模具)构成的金属型涂料机是众所周知的。在该金属型涂料机中，在将玻璃基板吸附保持在工作台上之后，当玻璃基板和工作台同时在涂布头的正下方移动时，从涂布头的吐出口吐出涂布液，在玻璃基板上连续地形成涂布液的涂膜。该金属型涂料机，在JP6-339656A中被公开。在该金属型涂料机中，由于对每一块基板进行涂布，因此，为了提高基板整体上的涂膜的厚度精度，在各基板的涂布开始部、涂布结束部的涂布方法就变得很重要。从涂布开始部来看，有控制涂布液的供给泵的动作和基板的动作的关系的方案。该方案，在JP8-229482A中被公开。还有通过预先从模具向辊子进行预备涂布(涂布准备)的方式，当在模具和辊子之间形成了涂布液的液筋(ビ一ド)之后，使模具和液筋同时向基板的方向移动，然后开始向基板的真正的涂布的方案。该方案，在JP2001-310147A中被公开。进而，还有为了防止涂布开始部的厚膜化，将基板与模具之间的间隙，与涂布液的吐出以及模具相对于基板的水平移动相连动地控制的方案。该方案，在JP2002-113411A中被公开。在上述的涂布开始方案中，在预先从模具向辊子进行预备涂布后，开始向基板的真正的涂布的方案，具有如下的不良状况，(i)因需要多余的设备而成本增加，(ii)为了进行多余的动作而使生产节拍延长，阻碍生产性提高，(iii)在辊子上进行了预备涂布后，在模具吐出口前端残存有微少量的涂布液，但该残存量并不是一定的，涂布开始部的涂膜的膜厚变动而不稳定，或者，(iv)由于预备涂布，在本来的涂布中不需要的无效涂布液量增多，因而成本增加等。另一方面，如果利用不进行预备涂布的涂布方法，将使用了高挥发性的溶剂的涂布液，以湿的厚度20μm或其以下进行涂布本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种狭缝模具，该狭缝模具具备第１模唇和第２模唇，所述第１模唇和前述第２模唇，以所述第１模唇的内面和所述第２模唇的内面相对的状态通过模唇连结要件而被一体化，通过这些相对的内面的一部分置以间隔地配置，从而形成液体供给路和沿着所述模唇的纵向延伸的模唇间隙，所述模唇间隙的下端，形成向外方打开的吐出口，所述模唇间隙的纵向的两侧端，相对于外方被封闭，所述模唇间隙的上端，连接在所述液体供给路上；其特征在于： （ａ）所述第１模唇具备第１部件和第２部件；并具有 （ｂ）可以调整与所述第１模唇的形成所述模唇间隙的面相垂直的方向上的所述第１部件和所述第２部件的相对位置地，使所述第１部件和所述第２部件相配合的部件配合要件； （ｃ）在调整所述相对位置后，将所述第１部件和所述第２部件连结并一体化的部件连结要件； （ｄ）配合在与所述第１模唇的所述内面相反一侧的所述第１部件的外面和所述第２部件的外面上，规定所述第１部件和所述第２部件的所述相对位置的定位要件； （ｅ）将所述定位要件固定在所述第１模唇上的定位要件的固定要件； （ｆ）通过所述定位要件和所述定位要件的固定要件，可以调整所述模唇间隙的纵向上的间隙宽度分布。...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：川竹洋，北村义之，
申请(专利权)人：东丽株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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