一种应变式压力传感器的绝压封装结构及应变式压力传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种应变式压力传感器的绝压封装结构及应变式压力传感器，为了解决现有的应变式压力传感器不适合测量绝压压力的问题，所述应变式压力传感器的绝压封装结构包括基座、弹性体膜片、下支架和密封接头，各部件通过激光或电子束焊接方式相互连接，在弹性体膜片背面形成一个真空空腔，通过密封接头上的电气引针完成电气输出。所述应变式压力传感器包括上述绝压封装结构。本实用新型专利技术结构简单，操作方便，测量精度高，能对以真空为基准的压力的进行测量，可广泛应用于各种气体、液体或蒸汽的绝压压力测量。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种应变式压力传感器的绝压封装结构及应变式压力传感器，该结构形式的应变式压力传感器，可广泛应用于各种气体、液体或蒸汽的绝压压力测量。
技术介绍
由于应变式压力传感器的弹性体膜片为钢杯，与硅杯不一致，无法通过键合形成真空腔来实现绝压测量，需要设计一种适合于应变式压力传感器的绝压封装结构，实现绝 压压力测量功能。
技术实现思路
为了克服现有的应变式压力传感器不适合测量绝压压力的不足，本技术旨在提供一种应变式压力传感器的绝压封装结构，该封装结构可用于绝压测量。为了实现上述目的，本技术所采用的技术方案是所述应变式压力传感器的绝压封装结构包括带通道的基座，其结构特点是，所述基座下方装有下支架，该下支架下方装有密封接头，所述基座与下支架形成的空腔内设置有弹性体膜片，所述下支架、密封接头和弹性体膜片之间形成的真空腔内设有固定在下支架上的引线板，所述密封接头上具有电气引针，该电气引针通过导线与引线板电连接，该引线板通过硅铝丝与所述弹性体膜片相连。作为对本技术的进一步的改进所述基座具有一内侧台面和一外侧台面，所述弹性体膜片装在基座的内侧台面上，所述下支架装在基座的外侧台面上。所述的应变式压力传感器的弹性体膜片通过电子束焊接方式设置于所述的基座上内侧台面，所述的下支架通过激光焊接方式设置于所述的基座的外侧台面，密封接头通过电子束焊接方式设置于下支架上，各部件之间形成一个真空空腔。通过压焊硅铝丝，并利用导电胶辅助固定的方式，将所述的弹性体膜片连接到引线板上，并利用导线连接到密封接头的电气引针上，完成应变式压力传感器的电气输出。两根所述的电气引针与密封接头之间设有密封绝缘圈，以保证真空腔的真空度，该密封绝缘圈优选由烧结DM-305玻璃粉制成。上述的密封接头基底材料采用316不锈钢，电气引针采用4J29铁镍钴可伐合金。藉由上述结构，采用上述技术方案的用于绝对压力测量的应变式压力传感器，由于弹性体膜片背面处于一个由各结构部件形成的真空腔内，则测量的压力参考于真空，完成了对绝压压力测量。其工作原理如下流体压力Pl作用在弹性体膜片底面上，使弹性体膜片产生变形，敏感电阻在弹性体膜片的背面制作成惠斯登电桥，弹性体膜片背面处于压力环境P2，其中P2为真空，弹性体膜片变形使敏感电阻阻值发生变化，惠斯登电桥输出与压力成比例的电信号，必要时，可利用电子电路对电桥输出的信号进行放大、变换成标准电信号输出。相应地，本技术提供了一种采用上述的应变式压力传感器的绝压封装结构的应变式压力传感器。与现有技术相比，本技术的有益效果是本技术用于测量绝对压力的应变式压力传感器，可以有效、可靠的测量绝压压力。且结构简单，操作方便，测量精度高，可应用于各种气体、液体或蒸汽的绝压压力测量。以下结合附图和实施例对本技术作进一步阐述。附图说明图I是本技术一种实施例的结构原理图；图2是本技术所述密封接头的结构示意图；图3是本技术弹性体膜片受力示意图。在图中I-基座； 2-弹性体膜片；3-硅铝丝； 4-下支架；5-引线板；6-导线；7-密封接头；8-电气引针；9-密封绝缘圈。具体实施方式一种应变式压力传感器的绝压封装结构，参见图I和图2，将弹性体膜片2通过电子束焊接方式焊接在带有压力连接接头的基座I的内侧台面上，将下支架4通过激光焊接方式焊接在基座I的外侧台面上，通过从弹性体膜片2背面的应变电阻焊盘上压焊硅铝丝3，并利用导电胶辅助固定的方式，连接到引线板5的焊盘上，引线板5通过螺钉固定在下支架4上；密封接头7通过电子束焊接方式焊接在下支架4上，利用导线6从引线板5上的焊盘连接到密封接头7的电气引针上，电气引针实现从真空腔到外部调理电路的电信号输出连接，各部件之间形成一个真空空腔。电气引针8与密封接头基底间通过烧结DM-305玻璃粉9进行密封和绝缘。参见图3，流体压力Pl通过基座I的引压端直接作用在弹性体膜片2的底面上，使弹性体膜片2产生变形，处于由基座I、弹性体膜片2、下支架4与密封接头7结构部件组成的真空空腔P2内的弹性体膜片2的背面上制作有惠斯登电桥电阻，变形使阻值发生变化，惠斯登电桥输出与压力成比例的电信号，必要时，可利用电子电路对电桥输出的信号进行放大、变换成标准电信号输出。一种应变式压力传感器，采用了本实施例所述的应变式压力传感器的绝压封装结构。上述实施例阐明的内容应当理解为这些实施例仅用于更清楚地说明本技术，而不用于限制本技术的范围，在阅读了本技术之后，本领域技术人员对本技术的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应变式压力传感器的绝压封装结构，包括带通道的基座(I)，其特征是，所述基座(I)下方装有下支架(4)，该下支架(4)下方装有密封接头(7)，所述基座(I)与下支架(4)形成的空腔内设置有弹性体膜片(2)，所述下支架(4)、密封接头(7)和弹性体膜片(2)之间形成的真空腔内设有固定在下支架(4)上的引线板(5)，所述密封接头(7)上具有电气引针(8)，该电气引针⑶通过导线(6)与引线板(5)电连接，该引线板(5)通过硅铝丝(3)与所述弹性体膜片(2)相连。2.根据权利要求I所述的应变式压力传感器的绝压封装结构，其特征在于，所述基座(I)具有一内侧台面和一外侧台面，所述弹性...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢锋，何迎辉，谢贵久，颜志红，龙悦，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：实用新型
国别省市：