本实用新型专利技术公开了一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，包括模具，所述模具内设置有胚料管和内衬管，所述内衬管固定在所述胚料管内，它还包括设置在模具底部的电机，所述电机通过传动丝杆与所述胚料管相连接，所述电机带动所述胚料管上下运动。本实用新型专利技术使用具有冷却作用的模具，使熔汤迅速凝固，金属的晶粒被细化，并减少内部缩孔的形成，进而得到缺陷较少，晶粒细致的旋转靶材。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种旋转管的制作装置，特别是涉及一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置。
技术介绍
自美国镀膜设备供应商开发出旋转阴极靶材，靶材的利用率由传统矩形平面靶的 40%提高到80%，大量节约镀膜成本，从此旋转靶材在大面积镀膜行业得到了广泛应用。然而，制备长达4米的矩形平面靶尚且不易，而制备相同长度、直径015(Tl90mm的中空圆柱靶，更为不易。
技术实现思路
本技术的主要目的在于，克服现有的低熔点靶材存在的缺陷，而提供一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，所要解决的技术问题是使其可以制作带有内衬管的旋转靶材，使用具有冷却作用的环形模具，使熔汤迅速凝固，金属的晶粒被细化，进而得到晶粒细致的旋转靶材，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。本技术的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本技术提出的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，包括模具，所述模具内设置有胚料管和内衬管，所述内衬管固定在所述胚料管内，它还包括设置在模具底部的电机，所述电机通过传动丝杆与所述胚料管相连接，所述电机带动所述胚料管上下运动。前述的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，其中，所述模具的中部设置有卡槽，所述卡槽与所述胚料管之间液密封，在所述模具的侧壁上设置有入水口和出水口，所述入水口和所述出水口位于所述卡槽的上部，所述入水口位于所述出水口的下部。前述的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，其中，所述胚料管的底部设置有法兰，通过法兰固定所述内衬管。借由上述技术方案，本技术低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置至少具有下列优点本技术使用具有冷却作用的模具，使熔汤迅速凝固，金属的晶粒被细化，并减少内部缩孔的形成，进而得到缺陷较少，晶粒细致的旋转靶材。综上所述，本技术特殊结构的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，其具有上述诸多的优点及实用价值，并在同类产品中未见有类似的结构设计公开发表或使用而确属创新，其不论在结构上或功能上皆有较大的改进，在技术上有较大的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的低熔点的靶材的制作工艺具有增进的多项功效，从而更加适于实用，而具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本技术的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。附图说明图I为本技术所述的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置的结构示意图。具体实施方式为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效， 以下结合附图及较佳实施例，对依据本技术提出的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。请参阅图I所示，本技术较佳实施例的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，包括模具1，模具I内设置有胚料管3和内衬管2，内衬管2固定在胚料管3内，胚料管3的底部设置有法兰6，通过法兰6固定内衬管2。它还包括设置在模具I底部的电机5，电机5通过传动丝杆4与胚料管3相连接，电机5带动胚料管3上下运动。模具I的中部设置有卡槽10，卡槽10与胚料管3之间液密封，在模具I的侧壁上设置有入水口 7和出水口 8，入水口 7和出水口 8位于卡槽10的上部，入水口 7位于出水口 8的下部。本技术的一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸工艺，应用于低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置中，包括如下步骤A、将坩埚9熔汤倒入带有内衬管2的胚料管3内，胚料管3通过电机5匀速上升，并保持模具I内熔汤的在卡槽10上部的高度不变；B、从设置在模具I侧壁上的入水口 7注入冷却水，从模具I侧壁上的出水口 8流出。上述如此结构构成的本技术一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置及其工艺的技术创新，对于现今同行业的技术人员来说均具有许多可取之处，而确实具有技术进步性。以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，虽然本技术已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本技术，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围内，当可利用上述揭示的
技术实现思路
作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本技术技术方案的内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。权利要求1.一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，包括模具，其特征在于，所述模具内设置有胚料管和内衬管，所述内衬管固定在所述胚料管内，它还包括设置在模具底部的电机，所述电机通过传动丝杆与所述胚料管相连接，所述电机带动所述胚料管上下运动。2.根据权利要求I所述的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，其特征在于，所述模具的中部设置有卡槽，所述卡槽与所述胚料管之间液密封，在所述模具的侧壁上设置有入水口和出水口，所述入水口和所述出水口位于所述卡槽的上部，所述入水口位于所述出水口的下部。3.根据权利要求I所述的低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，其特征在于，所述胚料管的底部设置有法兰，通过法兰固定所述内衬管。专利摘要本技术公开了一种低熔点带有内衬管合金旋转靶材的连铸装置，包括模具，所述模具内设置有胚料管和内衬管，所述内衬管固定在所述胚料管内，它还包括设置在模具底部的电机，所述电机通过传动丝杆与所述胚料管相连接，所述电机带动所述胚料管上下运动。本技术使用具有冷却作用的模具，使熔汤迅速凝固，金属的晶粒被细化，并减少内部缩孔的形成，进而得到缺陷较少，晶粒细致的旋转靶材。文档编号B22D19/08GK202377500SQ20112055168公开日2012年8月15日 申请日期2011年12月26日 优先权日2011年12月26日专利技术者庄世雄, 朱振华 申请人:昆山全亚冠环保科技有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱振华，庄世雄，
申请(专利权)人：昆山全亚冠环保科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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