喷墨打印头的制造方法、打印元件基板和喷墨打印头技术

提供喷墨打印头的制造方法、打印元件基板和喷墨打印头，其中，多个喷出口具有均一的形状。彼此相邻的加热器之间具有与这些加热器共同连接的共用导线或与加热器的通电无关的虚设导线。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及能够喷出墨的喷墨打印头的制造方法、打印元件基板和喷墨打印头。
技术介绍
喷墨打印设备中使用的一些喷墨打印头使用电热转换元件(加热器)以经由喷墨口喷墨。这样的打印头被构造成使得加热器所产生的热能够用于使墨发泡并且加热器的发泡能量能够用于经由喷出口喷墨。随着近年来打印密度的增大，已经要求以更高的密度排列多个喷出口和加热器。日本特开平11-070658(1999)号公报提出了如下的构造其用于通过在彼此相邻的加热器之间形成共用导线从而减少与加热器连接的电力导 线的数目来以更高的密度排列加热器。还已知如下一种方法通过在具有加热器的基板上通过光刻步骤形成喷嘴来抑制经由喷出口喷出的墨的体积的变化。打印头的制造方法包括日本特开平6-286149(1994)号公报中公开的制造方法。根据该制造方法，利用能够溶解的树脂在基板上形成墨流路图案，并且树脂被包括常温下为固体状的环氧树脂的流路形成构件(覆盖树脂材料)涂布。之后，流路形成构件被曝光并硬化(cure)以形成喷出口，之后形成墨流路图案的树脂被洗脱。图8示出了如日本特开平11-070658(1999)号公报所公开的、由感光性环氧树脂制成的流路形成构件111被涂布到打印元件基板110、随后曝光并硬化流路形成构件111以形成喷出口 100的步骤。基板110上具有加热器400、绝缘层407、抗气穴现象膜406和树脂接触层405。基板110上还具有如日本特开平11-070658(1999)号公报所公开的共用导线401。加热器400沿着图8中的左右方向排列。彼此相邻的加热器400之间具有包含共用导线401的部分和不包含共用导线401的部分。当流路形成构件111被曝光并硬化以形成喷出口 100时，如图8中的箭头所示，光被反射。图8中的箭头A示出了在使用所制造的打印头期间通过加热器400所产生的热而喷出墨流路300中的墨所沿的方向。但是，当如图8所示流路形成构件111被曝光并硬化时，由加热器400之间的具有共用导线401的部分和加热器400之间的不具有共用导线401的部分导致非均一反射的光。具体地，这些部分处存在或不存在共用导线401导致了绝缘层407、抗气穴现象膜406和树脂接触层405的不同形状。结果，从这些部分反射的光具有不同的反射强度或反射角度，这由此导致流路形成构件111的喷出口形状的变化。当由感光性环氧树脂制成的流路形成构件111特别地受到i_射线步进器(i_射线波长365nm)的i_射线曝光时，存在反射光的反射强度或反射角度的变化可能会导致喷出口 100具有与期望的形状不同的扭曲形状的风险。原因在于因为由环氧树脂制成的流路形成构件111对i_射线感光但本身并不吸收i_射线的大部分射线，所以流路形成构件111受到反射光的显著影响。如上所述，流路形成构件111的喷出口 100的形状变化导致墨喷出方向和喷出量变化的风险。由此，这导致如下的风险在这样的打印头被用于在打印介质上打印图像时，打印介质上的墨着落位置偏移，由此导致打印图像的品质劣化。
技术实现思路
本专利技术提供喷 墨打印头的制造方法、打印元件基板和喷墨打印头，据此，多个喷出口具有均一的形状。在本专利技术的第一方面中，提供了喷墨打印头的制造方法，其包括准备基板的步骤；在所述基板的表面上形成如下部件的形成步骤元件列，其通过排列多个电热转换元件而形成，所述电热转换元件用于在通电时产生能量以经由相应的喷出口喷墨，多根共用导线，其配置在第一区域中，各所述第一区域均定位在相邻的所述电热转换元件之间，各所述共用导线均用于对至少两个所述电热转换元件通电，和多根虚设导线，其配置在第二区域中，各所述第二区域均定位在其间不具有所述第一区域的相邻的所述电热转换元件之间，所述虚设导线不用于对所述电热转换元件通电；所述形成步骤之后的涂布步骤，所述涂布步骤用感光材料涂布所述表面，所述感光材料在曝光时硬化；以及所述涂布步骤之后的曝光步骤，所述曝光步骤对所述感光材料的除与所述喷出口对应的部分之外的、与所述多根虚设导线和所述多根共用导线对应的部分进行曝光。在本专利技术的第二方面中，提供了打印元件基板，其包括元件列，其通过排列多个电热转换元件而形成，所述电热转换元件用于在通电时产生能量以经由相应的喷出口喷墨；多根共用导线，其配置在第一区域中，各所述第一区域均定位在相邻的所述电热转换元件之间，各所述共用导线均用于对至少两个所述电热转换元件通电；和多根虚设导线，其配置在第二区域中，各所述第二区域均定位在其间不具有所述第一区域的相邻的所述电热转换元件之间，所述虚设导线不用于对所述电热转换元件通电。在本专利技术的第三方面中，提供了喷墨打印头，其包括以上所述的打印元件基板；和流路形成构件，其具有多个喷出口和形成与相应的所述喷出口连通的流路用的壁，所述流路形成构件抵接于所述打印元件基板，由此形成所述流路。根据本专利技术，彼此相邻的电热转换元件之间能够包括用于电热转换元件的通电的共用导线或与电热转换元件的通电无关的虚设(drnnrny)导线，由此为多个喷出口提供均一的形状。具体地，在通过曝光并硬化感光性树脂来形成喷出口时，通过抑制照射到喷出口的周边的反射光的反射强度或反射角度的变化，喷出口能够具有均一的形状。结果，能够制造可靠的打印头，其中，能够经由喷出口沿均一的方向、以均一的量喷出墨。根据下面对示例性实施方式的说明(参考附图)，本专利技术的其它特征将变得明显。附图说明图I的(A)是示出本专利技术的第一实施方式中的打印头的主要部分的局部剖切立体图I的⑶是示出图I的(A)的打印头中的基板的放大俯视图；图2A是在图I的(A)的打印头的制造阶段沿图I的⑶的线IIA-IIA截取的截面图；图2B是沿图I的⑶的线IIB-IIB截取的截面图；图3A、图3B和图3C是分别示出图I的(A)的打印头的制造步骤的截面图；图4A、图4B和图4C是分别示出图I的(A)的打印头的制造步骤的截面图；图5A、图5B和图5C是分别示出图I的(A)的打印头的 制造步骤的截面图；图6A和图6B示出了图I的⑷的打印头的不同变型例；图7A是示出本专利技术的第二实施方式的打印头的基板的放大俯视图；图7B是示出本专利技术的第三实施方式的打印头的基板的放大俯视图；和图8是示出传统的打印头的制造方法的截面图。具体实施例方式下面的部分将参考附图说明本专利技术的实施方式。(第一实施方式)图I的⑷是本实施方式中的喷墨打印头101的局部剖切立体图。本示例的打印头101的打印元件基板110上具有元件列。通过排列能够经由导线(将在下面描述)被通电的多个电热转换元件(加热器)400来配置这些元件列。打印元件基板110上具有流路形成构件(覆盖树脂材料)111。流路形成构件111具有与相应加热器400对应的多个喷出口 100。所准备的打印元件基板110是比如硅等半导体基板。加热器400由比如钽硅氮化物(TaSiN)等材料形成。在本示例的情况中，各喷出口 100以预定的节距P沿两个喷出口列LI和L2排列。喷出口列LI侧的喷出口 100和喷出口列L2侧的喷出口 100在排列这些喷出口 100的方向上相互错开半个节距(P/2)。多个加热器400被排列成以与这些喷出口 100的间隔大致均等的间隔与这些喷出口 100相对。打印元件基板110具有共用液室112和孔状本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山根彻，矢部贤治，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：