【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光谱分析仪器领域，具体涉及一种基于可编程MEMS微镜和单点探测器的傅立叶变换红外光谱仪，该仪器可以广泛应用于食品安全、环境监测、化学分析等领域。
技术介绍
傅立叶变换红外光谱仪的基本原理是通过干涉仪中动镜的匀速运动实现不同光程差的干涉图，干涉图是干涉强度随光程差变化的函数，也是干涉强度随时间变化的函数。 干涉图数据经过傅立叶变换，可变换成光谱图，从而实现光谱探测。由于干涉光是很高波长分辨率的全光谱信息，因此傅立叶变化红外光谱仪具有高信噪比，高分辨率，高通量的优点。然后，传统的傅立叶变换光谱仪采用机械装置移动动镜，机械结构复杂且精度要求极高，使得控制系统非常复杂。近年来，研究人员致力于采用新结构代替移动动镜实现光程差的变化。两种典型结构如下国外报道的微型傅立叶变换红外光谱仪，采用MEMS精细加工技术制备可动反射镜，仍然基于迈克尔逊干涉仪原理形成微型光谱仪。该结构的光程差变化靠可动反射镜移动距离实现，可动反射镜在微驱动下的移动距离受限，使得光谱探测灵敏度受限。国内长春光机所报道采用两个阶梯反射镜代替迈克尔逊干涉仪中的平面反射镜和动反射镜，两个阶梯反射镜...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
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