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本发明涉及一种基于可编程MEMS微镜和单点探测器的傅里叶变换红外光谱仪，其采用宽带光作为光源，光源发出的光经过准直透镜准直成平行光照射到可编程MEMS微镜，可编程MEMS微镜通过偏转不同角度选择合适的反射光进入分束镜，经过分束镜的一路光到达...
该专利属于重庆大学所有，仅供学习研究参考，未经过重庆大学授权不得商用。

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