生产管理系统和生产管理方法技术方案

本发明专利技术涉及生产管理系统和生产管理方法。在手动搬运／离线装置存在的生产线中，对装置状态进行在线管理，以低投资进行面向装置管理、省人工化的导航功能，由此即使是存在离线装置的生产线也能实现利用生产管理系统的伪在线管理。具有：主机装置(3)，具有批次的处理流程进展管理功能；以及管理个人计算机(2)，读取以点亮通知对离线装置(6)附加的装置运转状况的信号塔信号，将离线装置(6)的装置状态信息(异常(报警)、运转/非运转状态信息；装置是否空闲的信息)向主机装置(3)发送，主机装置(3)基于离线装置(6)的装置状态信息(异常(报警)、运转/非运转状态信息；装置是否空闲的信息)，对各管理个人计算机(2)进行离线装置(6)的批次的操作指示。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及例如在对LSI制造工厂的化合物半导体工厂等的再开发、手动工厂中，对使用至少包含离线(off Iine)装置的一个或多个处理装置来制造发光二极管(LED)、 半导体激光器元件等的半导体发光元件等的半导体元件时的生产进行管理的生产管理系统以及使用其的生产管理方法。
技术介绍
在现有的LSI制造工厂等中，在专利文献I中，具有根据在半导体制造装置中设定的晶片处理条件，计算出晶片处理所需要的时间的功能；基于相同条件的实际结果值的统计，计算出未以程式(recipe)设定的晶片搬运时间、室(chamber)的处理条件稳定化时间的功能；根据由该2个功能求取的时间，计算出晶片处理的结束预测时刻的功能；在预测时刻由于半导体制造装置的问题而从最初预测偏离的情况下，校正预测时刻的功能；以与有无校正无关的该结束预测时刻起追溯了半导体制造装置的用户指定的一定时间的定时向MES (Manufacturing Execution System :制造执行系统)或MCS通知特别指定的信号的功能，或者通过信号塔的点亮状态的变化或装置附带的蜂鸣器的鸣动来对用户进行通知的功能。此外，为了对离线装置进行在线(on line)管理，以往如图5所示那样使用如下方法对离线装置103编入能与进行工序管理的主机装置101在线的个人计算机102，经由个人计算机102读取离线装置103的装置状态信息。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开2009-43950号公报。在上述现有的结构中，为了对离线装置103编入个人计算机102等的在线设备， 会伴随装置的改造，不仅花费开发费用，而且在每个装置中需要开发的部分多，对离线装置 103多的生产工序的应用是困难的。在对LSI工厂的化合物半导体工厂的再开发、手动工厂的有效利用时，要求有如下技术以低投资对离线的手动处理进行以在线为标准的管理，实现省人工化、防止操作错误。
技术实现思路
本专利技术解决了上述现有问题，其目的在于，提供一种在手动搬运/离线装置存在的生产线中，通过对装置状态进行在线管理，以低投资进行面向装置管理、省人工化的导航功能，从而即使是存在离线装置的生产线，也能实现利用生产管理系统的伪在线管理的生产管理系统以及使用其的生产管理方法。用于解决课题的单元本专利技术的生产管理系统是，在使用至少包含离线装置的一个或多个处理装置来制造半导体元件的半导体制造工序中，具有主机装置，其对该一个或多个处理装置具有批次的处理流程进展管理功能；以及管理个人计算机，读取以点亮/非点亮通知对该离线装置附加的装置运转状况的信号塔信号，向该主机装置发送该离线装置的装置状态信息，该主机装置基于该至少包含离线装置的一个或多个处理装置的装置状态信息，经由对应的该处理装置的该管理个人计算机，使包含该离线装置的一个或多个处理装置的各批次的操作指示信息输出，由此实现上述目的。此外，优选在本专利技术的生产管理系统中，在从所述至少包含离线装置的一个或多个处理装置中同时检测出需要操作的信号时，所述主机装置综合判断批次的处理优先顺序、操作者当前的地点等的生产条件，经由该至少包含离线装置的一个或多个处理装置的各自的管理个人计算机，使操作指示信息输出。进而，优选在本专利技术的生产管理系统中，所述主机装置根据从所述至少包含离线装置的一个或多个处理装置中分别读取的处理开始信号和预先注册的处理时间来预测处理结束时刻，经由该至少包含离线装置的一个或多个处理装置的各自的管理个人计算机， 使操作预约指示信息输出。进而，优选在本专利技术的生产管理系统中，所述管理个人计算机向所述主机装置上载所述装置状态信息，基于上载的装置状态信息，该主机装置将批次的操作指示信息下载到与其对应的管理个人计算机中。本专利技术的生产管理方法是使用了本专利技术的所述生产管理系统的生产管理方法，其中，读取以点亮/非点亮通知对所述离线装置附加的装置运转状况的信号塔信号，管理个人计算机向该主机装置转送该离线装置的装置状态信息，该主机装置基于该离线装置的装置状态信息，经由该管理个人计算机，使该离线装置的批次的操作指示信息输出，由此实现上述目的。采用上述结构，以下，说明本专利技术的作用。在本专利技术中，具有主机装置，其对一个或多个处理装置具有批次的处理流程进展管理功能；以及管理个人计算机，读取以点亮/非点亮通知对离线装置附加的装置运转状况的信号塔信号，向主机装置发送离线装置的装置状态信息，主机装置基于至少包含离线装置的一个或多个的处理装置的装置状态信息，经由对应的处理装置的管理个人计算机， 输出包含离线装置的一个或多个处理装置的各批次的操作指示信息。由此，能读出离线装置的信号塔信号(包含警告信号)，从管理个人计算机向进行工序管理的主机装置发送装置状态信息，在主机装置中也包含离线装置进行生产管理，即使是存在离线装置的生产线，也能实现利用生产管理系统的伪在线管理。因此，在低投资、 小规模线/局部的分散线中，能高效可靠地进行和在线控制同等的生产管理。如上所述，根据本专利技术，由于读出离线装置的信号塔信号(包含警告信号)，从管理个人计算机向进行工序管理的主机装置发送装置状态信息，在主机装置中也包含离线装置来进行生产管理，所以即使是存在离线装置的生产线，也能实现利用生产管理系统的伪在线管理，在低投资、小规模线/局部的分散线中，能高效可靠地进行和在线控制同等的生产管理。附图说明图I是表示本专利技术的实施方式中的生产管理系统的主要部分结构例以及其动作的框图。图2是表示图I的生产管理系统中的管理个人计算机和主机装置的软结构例的框图。图3是表示在使用图I的生产管理系统来进行生产处理的情况下的包含操作者的操作处理的生产管理系统的动作例的流程图。图4是图I的生产管理系统中的作为离线装置的多个处理装置、管理个人计算机以及主机装置的配置图。图5是用于说明即使是在现有的生产管理系统中存在离线装置的生产线也能实现伪在线管理的情况的说明图。具体实施例方式以下，针对本专利技术的生产管理系统以及使用其的生产管理方法的实施方式，一边参照附图一边详细地进行说明。图I是表示本专利技术的实施方式中的生产管理系统的主要部分结构例以及其动作的框图。在图I中，本实施方式的生产管理系统I具有各管理个人计算机2，对包含离线装置的多个处理装置的各自附加固有的ID ;主机装置3，能与各管理个人计算机2分别进行信息交换；以及读卡器4，能从数据卡给予装置(未图示)向操作者给予对多个生产工件 (work)(多个生产批次)分别附加固有的ID以及处理信息(流程)的数据卡(RF-ID)，能从该数据卡中读取每个操作者的生产信息。在数据卡中埋入有被称为标签芯片的搭载有存储器的IC芯片以及天线，在卡表面记载有“将哪个储存库(stocker)的哪个生产工件即盒(cassette)(批次(lot))手动搬运到哪个处理装置并进行操作”以使操作者用眼睛看便知。在数据卡中，以避免在处理装置中的输入错误的方式将数据注册在IC芯片内并能通过读卡器4容易并且可靠地进行读取、或以条形码来标记生产条件并能通过条形码读码器容易并且可靠地进行读取。IC芯片内的注册数据例如是知晓需要处理的批次是什么、需要怎样的处理的数据。作为生产工件的盒(批次)的操作指示信息显示在管理个人计算机2的显示画面上、或通过与管理个人计算机2连接的数据卡给本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：南出昌彦，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：