整体升降式软着陆推拉舟制造技术

本实用新型专利技术提供了一种整体升降式软着陆推拉舟，它包括横向机构、升降机构、托架机构；其中横向机构包括电机、同步带轮、同步带、固定板、滑块、滑轨、底板，电机与同步带轮连接，同步带套在同步带轮上，同步带与固定板固定连接，固定板与滑块固定连接，滑块与滑轨配合，滑轨固定在底板上；升降机构包括电机、联轴器、螺旋升降机、滑轨、滑块，电机通过联轴器与螺旋升降机连接，螺旋升降机与横向机构中的底板固定连接，滑轨与滑块配合，滑块与横向机构中的底板固定连接；托架机构与横向机构中的固定板固定连接；其降低了维修频率，解决了更换麻烦的不足，同时减少了推拉舟的占用空间，提高了设备的稳定性。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及自动送料系统，尤其涉及半导体、光伏产业中PECVD自动送料系统中的软着陆推拉舟。
技术介绍
太阳能电池片生产的扩散过程是在炉膛内进行，在高温环境下，通过分子的热运动，让磷(P)、铝(AL)、镓(Ga)、硼(B)等杂质元素进入纯净的硅片内部，形成PN结。在进行扩散之前，需要将被扩散的硅片通过推拉舟放入炉膛内，扩散过程结束后，再从炉体内取出。目前在半导体及光伏产业中扩散、PECVD自动送料系统中，现有的推拉舟通常使用丝杠传动，底盘不动，只是加持部分局部上下运动，其缺点在干I.占用空间大，设备结构不美观；2.由于丝杠上的传动螺母使用频率较高，经常会坏，更换起来非常麻烦，维修频率比较高；3.稳定性差等。
技术实现思路
为了解决以上技术问题，本技术提供了ー种稳定性高、维修频率低、占用空间小的整体升降式软着陆推拉舟。本技术所述整体升降式软着陆推拉舟，包括横向机构、升降机构、托架机构； 其中横向机构包括电机、同步带轮、同步带、固定板、滑块、滑轨、底板，电机与同步带轮连接，同步带套在同步带轮上，同步带与固定板固定连接，固定板与滑块固定连接，滑块与滑轨配合，滑轨固定在底板上；升降机构包括电机、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李丙科，
申请(专利权)人：青岛赛瑞达设备制造有限公司，
类型：实用新型
国别省市：