一种用于生产过程加热需要的冷热测针制造技术

技术编号:7562711 阅读:163 留言:0更新日期:2012-07-14 12:51
本实用新型专利技术提供了一种用于生产过程加热需要的冷热测针,包括机体,其特征在于:在机体的操作面上设有手动推拉的平移滑板,平移滑板底部设有平移机构,在平移滑板上设有可360度旋转的旋转板,在平移滑板的前端设有手动平移推拉杆,在手动平移推拉杆上设有弹簧,至少两个测量笔设于平移滑板的后方,测量笔通过四氟材料架架空,在至少两个测量笔中的一个测量笔的笔头下设有加热线圈,在机体的操作面设有放置万用表的平面,万用表的表笔接在测量笔上,在加热线圈及四氟管的下方设有气管接口,气管接口管路连接设于机体表面的压缩空气进气接口。本实用新型专利技术的优点是:提供了一种用于生产过程中的冷热测针,通过该装置能够更为精确得为硅片进行加热。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

一种用于生产过程加热需要的冷热测针
本技术涉及一种硅片生产过程中加热需要的冷热测针。技术背景在工业生产过程中,需要对硅片进行加热。目前,通常采用冷热测针对硅片进行加热。其基本的工作原理是,将硅片置于冷热测针上,随后将冷热测针的加热设备加热至一定温度后,将硅片贴近该加热设备,完成加热过程。现有的冷热测针的缺点在于加热的准确性不高,影响了生产质量。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种加热更为精确的冷热测针。为了达到上述目的,本技术的技术方案是提供了一种用于生产过程加热需要的冷热测针,包括机体,其特征在于在机体的操作面上设有手动推拉的平移滑板,平移滑板底部设有平移机构,在平移滑板上设有可360度旋转的旋转板,在旋转板的边上设有定片条,在平移滑板的前端设有手动平移推拉杆,在手动平移推拉杆上设有弹簧,在弹簧的末端设有弹簧助力板,弹簧助力板固定在机体上,至少两个测量笔设于平移滑板的后方,测量笔通过四氟材料架架空,在测量笔的尾部架设有四氟管,在至少两个测量笔中的一个测量笔的笔头下设有加热线圈,在机体的操作面设有放置万用表的平面,万用表的表笔接在测量笔上,在加热线圈及四氟管的下方设有气管接口,气管接口管路连接设于机体表面的压缩空气进气接口。优选地,在所述气管接口与所述压缩空气进气接口之间的管路上分别设有一流量调节器,在该管路上设有压缩空气表。优选地,在所述机体上设有控制所述流量调节器的开关。优选地,所述机体的操作面通过合叶可开合。优选地,在所述机体的侧边设有电源接口。优选地,在所述机体的底部设有防滑脚。优选地,所述加热线圈通过脚支撑。优选地,在所述平移滑板与所述旋转板之间设有360度旋转轴。优选地,所述平移机构包括平移轨道,在平移轨道上设有平移滑块,所述平移滑板固定在平移滑块上。本技术的优点是提供了一种用于生产过程中的冷热测针,通过该装置能够更为精确得为硅片进行加热。附图说明图1为本技术提供的一种用于生产过程加热需要的冷热测针的结构示意图;图2为图1的局部示意图;图3为图1的侧视图。具体实施方式为使本技术更明显易懂,兹以一优选实施例,并配合附图作详细说明如下。如图1及图2所示,本技术提供的一种用于生产过程加热需要的冷热测针,包括机体1,在机体1的侧边设有电源接口 4,在机体1的底部设有防滑脚2,在机体1的操作面上设有手动推拉的平移滑板5,机体1的操作面通过合叶17可开合,平移滑板5底部设有平移机构,在平移滑板5上设有可360度旋转的旋转板6,在平移滑板5与旋转板6之间设有360度旋转轴22,在旋转板6的边上设有定片条7,在平移滑板5的前端设有手动平移推拉杆8,在手动平移推拉杆8上设有弹簧9,在弹簧9的末端设有弹簧助力板10,弹簧助力板 10固定在机体1上,至少两个测量笔11设于平移滑板5的后方,测量笔11通过四氟材料架架空,在测量笔11的尾部架设有四氟管12,在至少两个测量笔11中的一个测量笔11的笔头下设有加热线圈13,加热线圈13通过脚14支撑,在机体1的操作面设有放置万用表15 的平面,万用表15的表笔16接在测量笔11上,在加热线圈13及四氟管12的下方设有气管接口 20,气管接口 20管路连接设于机体1表面的压缩空气进气接口 3,在气管接口 20与压缩空气进气接口 3之间的管路上分别设有一流量调节器19,在该管路上设有压缩空气表 18,在机体1上设有控制所述流量调节器19的开关21。如图3所示,所述平移机构包括平移轨道23,在平移轨道23上设有平移滑块24, 所述平移滑板5固定在平移滑块M上。两个流量调节器19,其中一个是给加热线圈13送气给测量笔11加热,另一个是给测量笔11尾端降温防止万用表15的表笔16烫坏。弹簧9的作用是推动测量点,力度不要大于硅片25的力度防止硅片25夹碎。本技术的工作过程为打开压缩空气,通过压缩空气表18调好压缩空气的压力,将开关21打开,再调整流量调节器19给加热线圈13冲热气,从而给加热笔11加热,并给加热笔11的尾部冲冷却气,数几分钟后达到需要温度时,调整万用表15,再用手轻拉手动平移推拉杆8,把硅片M放置在旋转板6上,慢放手动平移推拉杆8让硅片25靠近两个测量笔11,要接触良好。在万用表15上会有有效的边缘电阻。再用手轻拉手动平移推拉杆 8,取出硅片25,轻放手动平移推拉杆8,再将开关21关闭。权利要求1.一种用于生产过程加热需要的冷热测针,包括机体(1),其特征在于在机体(1)的操作面上设有手动推拉的平移滑板(5),平移滑板(5)底部设有平移机构,在平移滑板(5) 上设有可360度旋转的旋转板(6 ),在旋转板(6 )的边上设有定片条(7 ),在平移滑板(5 )的前端设有手动平移推拉杆(8),在手动平移推拉杆(8)上设有弹簧(9),在弹簧(9)的末端设有弹簧助力板(10),弹簧助力板(10)固定在机体(1)上,至少两个测量笔(11)设于平移滑板(5)的后方,测量笔(11)通过四氟材料架架空,在测量笔(11)的尾部架设有四氟管(12), 在至少两个测量笔(11)中的一个测量笔(11)的笔头下设有加热线圈(13),在机体(1)的操作面设有放置万用表(15)的平面,万用表(15)的表笔(16)接在测量笔(11)上,在加热线圈(13)及四氟管(12)的下方设有气管接口(20),气管接口(20)管路连接设于机体(1)表面 的压缩空气进气接口(3)。2.如权利要求1所述的一种用于生产过程加热需要的冷热测针,其特征在于在所述气管接口(20)与所述压缩空气进气接口(3)之间的管路上分别设有一流量调节器(19),在该管路上设有压缩空气表(18)。3.如权利要求2所述的一种用于生产过程加热需要的冷热测针,其特征在于在所述机体(1)上设有控制所述流量调节器(19 )的开关(21)。4.如权利要求1所述的一种用于生产过程加热需要的冷热测针,其特征在于所述机体(1)的操作面通过合叶(17)可开合。5.如权利要求1所述的一种用于生产过程加热需要的冷热测针,其特征在于在所述机体(1)的侧边设有电源接口( 4 )。6.如权利要求1所述的一种用于生产过程加热需要的冷热测针,其特征在于在所述机体(1)的底部设有防滑脚(2)。7.如权利要求1所述的一种用于生产过程加热需要的冷热测针,其特征在于所述加热线圈(13)通过脚(14)支撑。8.如权利要求1所述的一种用于生产过程加热需要的冷热测针,其特征在于在所述平移滑板(5 )与所述旋转板(6 )之间设有360度旋转轴(22 )。9.如权利要求1所述的一种用于生产过程加热需要的冷热测针,其特征在于所述平移机构包括平移轨道(23),在平移轨道(23)上设有平移滑块(24),所述平移滑板(5)固定在平移滑块(24)上。专利摘要本技术提供了一种用于生产过程加热需要的冷热测针,包括机体,其特征在于在机体的操作面上设有手动推拉的平移滑板,平移滑板底部设有平移机构,在平移滑板上设有可360度旋转的旋转板,在平移滑板的前端设有手动平移推拉杆,在手动平移推拉杆上设有弹簧,至少两个测量笔设于平移滑板的后方,测量笔通过四氟材料架架空,在至少两个测量笔中的一个测量笔的笔头下设有加热线圈,在机体的操作面设有放置万用表的平面,万用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:史根林
申请(专利权)人:百力达太阳能股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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